[发明专利]热处理装置

说明书

本发明提供一种能够再现性良好地控制温度分布的热处理装置。热处理装置(1)具有筒状的加热器(20)、由连接于加热器(20)的两端的石墨管形成的槽(30、40)以及形成于槽(30、40)的电极(31、41)。加热器(20)包括：第1石墨管(21B)；第2石墨管(21C)，其配置为一个端面与第1石墨管(21B)的一个端面接触，并具有比第1石墨管(21B)的电阻高的电阻；以及第3石墨管(21D)，其配置为一个端面与第2石墨管(21C)的另一个端面接触，并具有比第2石墨管(21C)的电阻低的电阻。

技术领域

本发明涉及一种热处理装置。

背景技术

碳材料、尤其是石墨具有高导电性、高导热性、耐化学品性、自润滑性等特异的性质，因此作为冶金用、电气·电子制品用、机械用等的材料被广泛应用于各种用途。最近，在高温下进行热处理使石墨结晶生长而提高了其导热性的材料用作散热片、散热基板，此外，还用作锂离子二次电池的负电极材料等。

石墨能够通过对酚醛、呋喃等树脂、焦炭、中间相炭等石墨原料在例如2000℃～3200℃的温度下进行热处理而得到。

在日本特开2002—69757号公报中公开了碳纤维和其制造方法以及其装置。在日本特许第2744617号中公开了气相生长碳纤维的连续石墨化处理方法和装置。

日本特许第3787241号公开了这样一种石墨制造装置：连接多根圆筒状的石墨管而形成加热管，在该加热管的一端部安装石墨原料的导入部，并且在该加热管的另一端侧安装制品石墨的导出部。在该石墨制造装置中，用于构成加热管的各石墨管配置有越靠导入部侧电阻越大的石墨管。记载有，通过在易于变为低温的导入部侧配置电阻较大的石墨管，能够使加热管内的温度分布均匀。

发明内容

在上述的石墨制造装置的结构中，有时难以再现性良好地控制温度分布。

本发明的目的在于提供一种能够再现性良好地控制温度分布的热处理装置。

此处公开的热处理装置具有筒状的加热器、由连接于加热器的两端的石墨管形成的槽以及形成于槽的电极。加热器包括：第1石墨管；第2石墨管，其配置为一个端面与第1石墨管的一个端面接触，并具有比第1石墨管的电阻高的电阻；以及第3石墨管，其配置为一个端面与第2石墨管的另一个端面接触，并具有比第2石墨管的电阻低的电阻。

根据上述结构，加热器配置为包括串联地连接的三根石墨管(第1～第3石墨管)、正中的石墨管(第2石墨管)的电阻成为最高。电力从电连接于加热器的两端的电极向加热器供给。这时，由于第1～第3石墨管串联地连接，因此，同样的大小的电流在第1～第3石墨管中流通。因此，电阻最高的第2石墨管最大程度地发热。由此，热处理装置形成向上侧凸的温度分布。

热处理装置的温度分布因设定温度、零件的损耗、被处理材料的热容量等原因而发生变动。根据上述结构，通过积极地设为凸形状的温度分布，能够每次将最高温度位置设为大致相同的位置。因此，温度控制变得容易，此外，能够形成再现性较高的温度分布。

附图说明

图1是表示热处理装置的概略结构的俯视图。

图2是沿图1的II—II线的剖视图。

图3是表示加热器的概略结构的分解立体图。

图4是沿图3的IV—IV线的剖视图。

图5是表示热处理装置的功能性结构的框图。

图6是热处理装置内的温度分布的一例。

图7是假想的比较例的热处理装置的温度分布的一例。

图8是表示热处理装置内的非活性气体的流动的图。

具体实施方式

[实施方式]