[发明专利]铁电存储器中的数据保持损失筛选

权利要求书

1.一种测试包含铁电存储器单元的集成电路的方法，其包括：

将多个所述铁电存储器单元编程为第一数据状态；

接着在第一高温下将所述集成电路烘烤达第一选定持续时间；

接着在低于所述第一高温的第二高温下将所述多个铁电存储器单元编程为第二数据状态；

接着在所述第二高温下在多个参考电压中的相应一者下读取所述经编程铁电存储器单元的多个样本群组中的每一者，以确定所述多个参考电压中的每一者下的故障单元数目；

依据所述多个参考电压下的所述故障单元数目而计算测试参考电压；及

接着在所述第二高温下在所述测试参考电压下读取编程有所述第二数据状态的所述多个铁电存储器单元中的每一者。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

在将所述多个铁电存储器单元编程为所述第二数据状态之后且在相应参考电压下读取所述经编程铁电存储器单元的所述多个样本群组之前，在所述第二高温下随所述集成电路暂停达第二选定持续时间。

3.根据权利要求1所述的方法，其中在所述测试参考电压下读取所述多个铁电存储器单元中的每一者包含：将所述多个铁电存储器单元编程为所述第一数据状态；接着将所述多个铁电存储器单元编程为所述第二数据状态；及接着在所述测试参考电压下读取所述多个铁电存储器单元。

4.根据权利要求2所述的方法，其中在所述测试参考电压下读取所述多个铁电存储器单元中的每一者进一步包含：在将所述多个铁电存储器单元编程为所述第二数据状态之后且在所述测试参考电压下读取所述多个经编程铁电存储器单元之前，在所述第二高温下随所述集成电路暂停达所述第二选定持续时间。

5.根据权利要求2所述的方法，其中：所述第一高温为至少85℃；所述第一选定持续时间为至少二十分钟；所述第二高温为至少60℃；且所述第二选定持续时间为至少十秒。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述计算包含：对所述多个参考电压下的所述故障单元数目进行外推以确定零故障位参考电压；及依据所述零故障位参考电压而确定所述测试参考电压。

7.根据权利要求6所述的方法，其中依据所述零故障位参考电压而确定所述测试参考电压包含：将裕度应用于所述零故障位参考电压。

8.根据权利要求6所述的方法，其进一步包括：

比较所述零故障位参考电压与阈值参考电压；及

在所述测试参考电压下读取所述多个铁电存储器单元中的每一者之前且响应于所述零故障位参考电压不满足所述阈值参考电压，将所述集成电路标记为出故障。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一高温为至少85℃且所述第一选定持续时间为至少二十分钟。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个铁电存储器单元中的每一者为单晶体管单电容器1T-1C类型，且其中在所述多个参考电压中的所述相应一者下读取所述多个铁电存储器单元中的每一者包含针对每一铁电存储器单元进行以下操作：将所述铁电存储器单元中的铁电电容器的第一板耦合到与所述铁电存储器单元相关联的位线；及比较所述位线处的电压与对应于裕度的参考电压。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一数据状态对应于所述铁电电容器变为第一极化状态的极化，在所述第一极化状态下所述电容器在未被施加电压的情况下保持第一极性的电压；且其中所述读取进一步包含：相对于所述位线将所述铁电电容器的第二板偏置为与所述第一极性相反的第二极性的电压。