[发明专利]控制系统、控制装置、控制方法以及非暂时性存储介质

权利要求书

1.一种控制系统，基于干扰对向控制对象工艺提供的操作量进行控制，具备：

干扰信号取得部，取得表示所述干扰的干扰信号；

控制量信息取得部，取得表示所述控制对象工艺的控制量的控制量信息；

高频振动信号生成部，在所述控制对象工艺的控制中，参照所述干扰信号生成高频振动信号，该高频振动信号用于使向所述控制对象工艺提供的操作量变动；

评价值计算部，基于所述控制量信息，计算成为对所述控制对象工艺的控制量进行评价的指标的评价值；以及

极值控制部，进行以下极值控制：基于由所述高频振动信号生成部生成的所述高频振动信号使所述操作量变动，一边搜索所述评价值的极值一边控制所述操作量。

2.一种控制系统，基于周期性地变动的干扰，对向控制对象工艺提供的操作量进行控制，具备：

控制量信息取得部，取得表示所述控制对象工艺的控制量的控制量信息；

高频振动信号生成部，在所述控制对象工艺的控制中，在所述干扰容易变动的时间段生成高频振动信号，该高频振动信号用于使向所述控制对象工艺提供的操作量变动；

评价值计算部，基于所述控制量信息，计算成为对所述控制对象工艺的控制量进行评价的指标的评价值；以及

极值控制部，进行以下极值控制：基于由所述高频振动信号生成部生成的所述高频振动信号使所述操作量变动，一边搜索所述评价值的极值一边控制所述操作量。

3.如权利要求2所述的控制系统，其中，

还具备干扰信号取得部，该干扰信号取得部取得表示所述干扰的干扰信号，

所述高频振动信号生成部参照所述干扰信号而生成所述高频振动信号。

4.如权利要求1或2所述的控制系统，其中，

在所述干扰信号的变化量为规定的阈值以上的情况下，或在预测为所述干扰信号的变化量成为规定的阈值以上的情况下，所述高频振动信号生成部生成所述高频振动信号。

5.如权利要求1或2所述的控制系统，其中，

在所述干扰信号的变化量为规定的阈值以下的情况下，或在预测为所述干扰信号的变化量成为规定的阈值以下的情况下，所述高频振动信号生成部生成所述高频振动信号。

6.如权利要求1或3所述的控制系统，其中，

所述高频振动信号生成部通过从所述干扰信号提取规定的频带的信号而生成所述高频振动信号。

7.如权利要求1或2所述的控制系统，其中，

所述高频振动信号生成部按所述控制对象工艺中的多个操作量中的每个操作量，生成所述高频振动信号；

所述评价量计算部按所述多个操作量中的每个操作量，计算所述控制对象工艺的评价值；

所述极值控制部基于按所述多个操作量中的每个操作量生成的高频振动信号、以及按所述多个操作量中的每个操作量计算出的评价值，按所述每个操作量进行极值控制。

8.如权利要求1或2所述的控制系统，其中，

所述极值控制部在所述控制对象工艺的控制量周期性地变化的情况下，基于过去取得的所述控制量信息，决定所述极值控制中的所述操作量的初始值。

9.如权利要求1或2所述的控制系统，其中，

所述极值控制部基于过去取得的所述控制量信息，决定向所述控制对象工艺提供的操作量的差分值，通过使所述差分值变动而搜索所述评价值的极值。