[发明专利]电解加工装置以及电解加工方法

权利要求书

1.一种电解加工装置，该电解加工装置是用于通过电解加工对工作物的表面进行加工的电解加工装置，其特征在于，

具有：电源、加工电极、电解液供给部、充电控制机构，

所述电源构成为在所述加工电极与所述工作物之间施加用于使电解加工用的电流流动的电压，

所述加工电极从所述工作物分离配置，并且，能够沿着所述工作物的表面方向相对扫描，

所述电解液供给部能够向所述加工电极与所述工作物之间供给电解加工用的电解液，

所述充电控制机构利用来自所述电源的、以所述工作物为阳极的电压施加，在所述加工电极相对于所述工作物相对地扫描期间，消除存储在所述加工电极与所述工作物之间的正方向电荷，

以所述工作物作为阳极的所述电压的施加时间为，在所述加工电极与所述工作物相对静止时，所述工作物的析出限定于所述加工电极的正下方的程度，

进一步地，所述充电控制机构构成为在所述加工电极与所述工作物之间，不进行与所述正方向电荷相反极性的充电。

2.如权利要求1所述的电解加工装置，其特征在于，

所述电源使用脉冲电流作为所述电流，

所述充电控制机构基于所述脉冲电流的占空比，消除所述正方向电荷。

3.如权利要求2所述的电解加工装置，其特征在于，

所述脉冲电流的脉冲宽度的绝对值的上限设定为较短，使得足以在所述工作物的表面进行镜面加工，并且，所述电解加工用的电流的电流密度设定为较高，使得足以进行所述镜面加工。

4.如权利要求1所述的电解加工装置，其特征在于，

所述电源使用交流电流作为所述电流，

所述交流电流具有将所述工作物作为阳极的正方向电流成分和将所述工作物作为阴极的反方向电流成分，

所述充电控制机构通过施加所述反方向电流成分，而消除所述正方向电荷。

5.如权利要求4所述的电解加工装置，其特征在于，

所述充电控制机构控制所述电源，以使得所述正方向电流成分的正方向电流密度以其施加时间积分后的值与所述反方向电流成分的反方向电流密度以其施加时间积分后的值大致相等。

6.如权利要求5所述的电解加工装置，其特征在于，

所述充电控制机构将所述反方向电流成分的峰值设定为比所述正方向电流成分的峰值低。

7.如权利要求1～6中任一项所述的电解加工装置，其特征在于，

所述工作物的表面的至少一部分具有不是0的曲率，所述工作物与所述加工电极的相对面积小到在该相对面积的范围内，所述加工电极与所述工作物的距离的分布与所述曲率无关而可以看做实质一定。

8.如权利要求1～6中任一项所述的电解加工装置，其特征在于，

所述充电控制机构伴随着所述加工电极的相对扫描，而使用于消除所述正方向电荷的控制内容变化。

9.一种电解加工方法，是使用如权利要求1～8中任一项所述的电解加工装置的电解加工方法，其特征在于，具有：

利用所述电源，使电解加工用的电流在所述加工电极与所述工作物之间流动的步骤；

使所述加工电极沿着所述工作物的表面方向相对扫描的步骤；

利用所述电解液供给部，向所述加工电极与所述工作物之间供给所述电解液的步骤；

利用所述充电控制机构，消除存储在所述加工电极与所述工作物之间的正方向电荷的步骤。

10.一种表面粗糙度调整方法，是使用权利要求1～8中任一项所述的电解加工装置的表面粗糙度调整方法，其特征在于，

利用所述电源，使电解加工用的电流在所述加工电极与所述工作物之间流动的步骤；

使所述加工电极沿着所述工作物的表面方向相对扫描的步骤；

利用所述电解液供给部，向所述加工电极与所述工作物之间供给所述电解液的步骤；

利用所述充电控制机构，通过控制存储在所述加工电极与所述工作物之间的电荷量，来调整所述工作物表面的表面粗糙度的步骤。