[发明专利]高对比度逆偏振器

权利要求书

1.一种偏振光的方法，所述方法包括：

a.提供逆线栅偏振器WGP，所述WGP包括位于透明基板的表面上方的细长肋的阵列、所述肋的至少一部分之间的间隙、以及填充相邻肋之间的所述间隙的填充层，所述填充层具有在所述光的预期波长处的大于1.6的折射率；以及

b.通过所述WGP透射比E_⊥更多的E_||，其中：

i.E_||是具有平行于所述肋的长度的电场振荡的所述光的偏振；以及

ii.E_⊥是具有垂直于所述肋的长度的电场振荡的所述光的偏振，

其中，所述填充层基本上填充所述间隙并且从所述间隙延伸到所述肋的上方，使得每个间隙中的所述填充层在相邻肋上方连续延伸到每个相邻间隙中的所述填充层，并且所述填充层在所述肋的上方延伸25和150纳米之间的厚度，以提高逆WGP的性能。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述填充层在所述光的预期波长处具有大于1.8的折射率。

3.根据权利要求1所述的方法，其中P＊(n-0.2)＜λ＜P＊(n+0.2)，其中：

a.λ是用于通过所述WGP透射比E_⊥更多的E_||的所述光的波长；

b.P是所述肋的节距；以及

c.n是所述填充层的所述折射率。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，

a.用于通过所述WGP透射比E_⊥更多的E_||的所述光的波长小于400纳米；以及

b.所述E_||透射除以所述E_⊥透射至少为300。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述填充层包括Al₂O₃、ZrO₂、HfO₂或其组合。

6.一种设计嵌入式逆线栅偏振器WGP的方法，所述方法包括：

a.计算在所需波长处E_||透射E_⊥透射的所述WGP的肋阵列的节距，其中：

i.E_||是具有平行于所述肋的长度的电场振荡的所述光的偏振；以及

ii.E_⊥是具有垂直于所述肋的长度的电场振荡的所述光的偏振；以及

b.对于在所需波长处的E_||透射E_⊥透射，计算位于所述肋阵列上方并且基本上填充所述肋之间的间隙的填充层的折射率，所述折射率在所述光的预期波长处的大于1.6，

其中，所述填充层从所述间隙延伸到所述肋的上方，使得每个间隙中的所述填充层在相邻肋上方连续延伸到每个相邻间隙中的所述填充层，并且所述填充层在所述肋的上方延伸25和150纳米之间的厚度，以提高逆WGP的性能。

7.根据权利要求6所述的方法，进一步包括选择以下中的至少两个来增加在所需波长处的E_||透射除以E_⊥透射：肋材料、肋厚度、肋形状、肋宽度除以肋节距、基板材料、以及所述肋阵列上方的所述填充层的厚度。