[发明专利]高对比度逆偏振器

说明书

嵌入式逆线栅偏振器(WGP)包括位于透明基板(11)的表面上方的肋(13)、肋之间的间隙(16)以及基本上填充间隙的填充层(15)。填充层具有相对高的折射率，诸如大于1.4。在入射到WGP上的光的波长处，E_||透射可大于E_⊥透射。E_||是具有平行于肋的长度L的电场振荡的光的偏振，并且E_⊥是具有垂直于肋的长度L的电场振荡的光的偏振。该嵌入式逆WGP对于通过高WGP性能来偏振难以用传统WGP偏振(E_⊥透射E_||透射)的电磁波谱(例如UV)的小波长(高能量)区域特别有用。

技术领域

本申请一般涉及线栅偏振器。

背景技术

线栅偏振器(多个WGP或单个WGP)可用于将光分成两种不同的偏振状态。一种偏振状态大部分可以穿过WGP，而另一种可以大部分被吸收或反射。WGP的效能或性能基于一种偏振的高百分比透射和相反偏振的最小透射。主透射偏振的百分比透射除以相反偏振的百分比透射被称为对比度。可能难以制造提供足够高对比度的WGP。有时可以通过减少线/肋的节距(pitch)来获得高对比度，但这样做可能是一个困难的制造挑战，特别是对于较小的波长。找到通过某种方式提高WGP性能而不是减少节距的方法是有益的。

发明内容

已经认识到，通过某种方式提高线栅偏振器(一个WGP或多个WGP)的性能而不是减少节距将是有利的。本发明涉及满足这些需求的嵌入式逆WGP、偏振光的方法以及设计嵌入式逆WGP的方法的各种实施例。每个实施例可以满足这些需求中的一个、一些或全部。对于以下WGP和方法，E_||是具有平行于肋的长度L的电场振荡的光的偏振；以及E_⊥是具有垂直于肋的长度L的电场振荡的光的偏振。

嵌入式逆WGP可以包括位于透明基板的表面上方的肋、肋之间的间隙、以及基本上填充间隙的填充层。肋可以是细长的并且可以形成阵列。在入射到WGP上的光的波长处，E_||透射可以大于E_⊥透射。填充层可以在光的该波长处具有大于1.4的折射率。

偏振光的方法可以包括提供逆的嵌入式WGP以及通过WGP透射比E_⊥更多的E_||。设计嵌入式逆WGP的方法可以包括：计算在所需波长处E_||透射E_⊥透射的WGP的肋阵列的节距；以及对于在所需波长处的E_||透射E_⊥透射，计算位于肋阵列上方并且基本上填充肋之间的间隙的填充层的折射率。

附图说明

图1a是根据本发明的实施例的嵌入式逆线栅偏振器(WGP)10的示意性横截面侧视图，该嵌入式逆线栅偏振器(WGP)10包括位于透明基板11的表面上方的肋13、肋13之间的间隙16以及基本上填充间隙16的填充层15。

图1b是根据本发明的实施例的嵌入式逆线栅偏振器(WGP)10的示意透视图，该嵌入式逆线栅偏振器(WGP)10包括位于透明基板11的表面上方的肋13、肋13之间的间隙16以及基本上填充间隙16的填充层15。

图2是根据本发明的实施例的与WGP 10类似的WGP 20的示意性横截面侧视图，例外的是WGP 20的填充层15从间隙16延伸到肋13上方。

图3是根据本发明的实施例的与WGP 10和20类似的WGP 30的示意性横截面侧视图，例外的是WGP 30的肋13包括下肋宽度W_L和上肋宽度W_H之间的显著差异。

图4是根据本发明实施例的使用至少一个WGP44来偏振光45的集成电路(IC)检查工具40的示意性透视图。

图5是根据本发明实施例的使用至少一个WGP 54来偏振光55的平板显示器(FPD)制造工具50的示意性透视图。

定义