[发明专利]检查方法及检查装置

权利要求书

1.一种检查方法，其特征在于，

是通过对作为半导体设备的测量对象物施加刺激信号而获取所述测量对象物所产生的电流的路径的检查方法，

包括：

对所述测量对象物施加刺激信号的步骤；

对与所述测量对象物相对地配置的磁光晶体照射光的步骤；

检测对应于所照射的所述光而自所述磁光晶体反射的光，并输出检测信号的步骤；

基于根据所述刺激信号生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及

包括基于所述相位图像数据的微小范围的区域所包含的像素的亮度值，算出所述相位成分的统计值，通过映射各像素的统计值而生成统计值图像数据的步骤，并基于所述统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像的步骤。

2.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述相位图像数据，生成表示正弦成分的正弦图像数据、及表示余弦成分的余弦图像数据的步骤，基于所述正弦图像数据及所述余弦图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。

3.如权利要求2所述的检查方法，其特征在于，

生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括对所述正弦图像数据及所述余弦图像数据进行相加、相乘、及平方和的平方根的任一种运算的步骤。

4.如权利要求2所述的检查方法，其特征在于，

生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述正弦图像数据而生成表示所述正弦成分的统计值的正弦统计值图像数据的步骤、及基于所述余弦图像数据而生成表示所述余弦成分的统计值的余弦统计值图像数据的步骤，基于所述正弦统计值图像数据及所述余弦统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。

5.如权利要求3所述的检查方法，其特征在于，

生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述正弦图像数据而生成表示所述正弦成分的统计值的正弦统计值图像数据的步骤、及基于所述余弦图像数据而生成表示所述余弦成分的统计值的余弦统计值图像数据的步骤，基于所述正弦统计值图像数据及所述余弦统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。

6.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，

所述统计值为方差、偏度、及峰度中的任一种。

7.如权利要求4所述的检查方法，其特征在于，

所述统计值为方差、偏度、及峰度中的任一种。

8.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于，

所述统计值为方差、偏度、及峰度中的任一种。

9.如权利要求1至8中任一项所述的检查方法，其特征在于，

所述参照信号为相位及周期与所述刺激信号相等的信号。

10.一种检查装置，其特征在于，

是通过对作为半导体设备的测量对象物施加刺激信号而获取所述测量对象物所产生的电流的路径的检查装置，

具备：

信号施加部，其对所述测量对象物施加刺激信号；

磁光晶体，其与所述测量对象物相对地配置；

光源，其输出光；

照射光学系统，其对所述磁光晶体照射自所述光源输出的光；

光检测器，其检测对应于所述照射光学系统所照射的光而自所述磁光晶体反射的光，并输出检测信号；

解析部，其基于根据所述刺激信号生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据；及

电流路径图像生成部，其基于所述相位图像数据的微小范围的区域所包含的像素的亮度值，算出所述相位成分的统计值，通过映射各像素的统计值而生成统计值图像数据，并基于所述统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。