[发明专利]弹性波装置及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电体层，具有第1主面、及与该第1主面对置的第2主面；

第1激励电极及第2激励电极，被设置成与所述压电体层相接；和

音响反射层，被设置在所述压电体层的所述第1主面上，

所述音响反射层具有：具有相互对置的一对主面且音响阻抗相对高的高音响阻抗层；和具有相互对置的一对主面且音响阻抗相对低的低音响阻抗层，

所述音响反射层中，所述低音响阻抗层及高音响阻抗层之中的至少1层中，所述一对主面之中的各主面的外周缘弯曲成不位于将该层的中央部分中的所述各主面在外周缘方向上延长的面内。

2.一种弹性波装置，具备：

压电体层，具有第1主面、及与该第1主面对置的第2主面；

第1激励电极及第2激励电极，被设置成与所述压电体层相接；和

音响反射层，被设置在所述压电体层的所述第1主面上，

所述音响反射层具有音响阻抗相对高的高音响阻抗层和音响阻抗相对低的低音响阻抗层，

在所述音响反射层的外周侧面中，所述高音响阻抗层及低音响阻抗层之中的至少1层的外周侧面与其他层的外周侧面经阶差而配置。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述激励电极为叉指换能器电极，即IDT电极，该叉指换能器电极被设置于所述压电体层的所述第1主面及第2主面之中的至少一方。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

所述叉指换能器电极被设置于所述压电体层的所述第2主面。

5.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置利用由所述叉指换能器电极激励的板波。

6.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述激励电极具有：被设置在所述压电体层的所述第1主面的第1激励电极、和被设置在所述压电体层的所述第2主面的第2激励电极。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

由所述第1激励电极和所述第2激励电极激励体波。

8.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求1所述的弹性波装置的制造方法，具备：

在所述压电体层形成所述音响反射层的工序；和

将所述激励电极设置为与所述压电体层相接的工序，

在形成所述音响反射层之际，在所述高音响阻抗层及所述低音响阻抗层之中的至少1层中，使所述一对主面之中的各主面的外周缘弯曲成不位于将该层的中央部分中的所述各主面在外周缘方向上延长的面内。

9.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求2所述的弹性波装置的制造方法，具备：

在所述压电体层形成所述音响反射层的工序；和

将所述激励电极设置为与所述压电体层相接的工序，

每当形成所述音响反射层时，设置所述高音响阻抗层及所述低音响阻抗层之中的至少1层，以使得该至少1层的外周侧面与其他层的外周侧面经阶差而配置。