[发明专利]弹性波装置及其制造方法

说明书

提供难以产生无用波造成的特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)，作为激励电极而在压电体层(2)设置有IDT电极(3)，在压电体层(2)的第1主面(2a)上层叠音响反射层(5)，音响反射层(5)具有音响阻抗相对高的高音响阻抗层(5b、5d、5f)和音响阻抗相对低的低音响阻抗层(5a、5c、5e)，音响反射层(5)具有抑制无用波向压电体层(2)侧的反射的无用波反射抑制构造(5x)。

技术领域

本发明涉及弹性波装置及其制造方法。

背景技术

以往，提出各种利用了体波或板波的弹性波装置。这种弹性波装置中，公知通过设置音响反射层而省略了腔室的构造。例如下述的专利文献1所述的弹性波装置中，在压电体层的一个主面形成IDT(interdigital transducer，叉指换能器)电极，在压电体层的另一主面层叠有音响反射层。音响反射层具有高音响阻抗层和低音响阻抗层被层叠而成的构造。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO12/086441

发明内容

-发明所要解决的技术问题-

在具有音响反射层的弹性波装置中，能够通过音响反射层使从压电体层侧泄漏到音响反射层侧的弹性波向压电体层侧反射。因此，能够提高弹性波的激励效率。然而，不仅是所使用的弹性波，无用波也被反射，因此存在该无用波导致谐振特性或滤波器特性等劣化的问题。

本发明的目的在于，提供一种无用波造成的特性的劣化难以产生的弹性波装置。

-用于解决技术问题的手段-

根据本发明涉及的弹性波装置的第1广泛的方面，提供一种弹性波装置，具备：压电体层，具有第1主面、及与该第1主面对置的第2主面；激励电极，被设置成与所述压电体层相接；和音响反射层，被设置在所述压电体层的所述第1主面上，所述音响反射层具有音响阻抗相对高的高音响阻抗层和音响阻抗相对低的低音响阻抗层，所述音响反射层具有抑制无用波向所述压电体层侧的反射的无用波反射抑制构造。

根据本发明涉及的弹性波装置的第2广泛的方面，提供一种弹性波装置，具备：压电体层，具有第1主面、及与该第1主面对置的第2主面；第1激励及第2激励电极，被设置成与所述压电体层相接；和音响反射层，被设置在所述压电体层的所述第1主面上，所述音响反射层具有：具有相互对置的一对主面且音响阻抗相对高的高音响阻抗层；和具有相互对置的一对主面且音响阻抗相对低的低音响阻抗层，所述音响反射层中，所述低音响阻抗层及高音响阻抗层之中的至少1层中，所述一对主面之中的各主面的外周缘弯曲成不位于将该层的中央部分中的所述各主面在外周缘方向上延长的面内。

根据本发明涉及的弹性波装置的第3广泛的方面，提供一种弹性波装置，具备：压电体层，具有第1主面、及与该第1主面对置的第2主面；第1及第2激励电极，被设置成与所述压电体层相接；和音响反射层，被设置在所述压电体层的所述第1主面上，所述音响反射层具有音响阻抗相对高的高音响阻抗层和音响阻抗相对低的低音响阻抗层，在所述音响反射层的外周侧面中，所述高音响阻抗层及低音响阻抗层之中的至少1层的外周侧面与其他层的外周侧面经阶差而配置。

本发明涉及的弹性波装置的某一特定的方面中，所述激励电极为IDT电极，该IDT电极被设置于所述压电体层的所述第1主面及第2主面之中的至少一方。该情况下，通过IDT电极能够激励板波等弹性波。

本发明涉及的弹性波装置的其他特定的方面中，所述IDT电极被设置于所述压电体层的所述第2主面。该情况下，由于IDT电极设置于音响反射层的相反侧，故能够更有效地激励弹性波。

本发明涉及的弹性波装置的另一特定的方面中，利用所述IDT电极所激励的板波。