[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，包含有：

阀体(1)，其带有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)；

关闭机构(4)，该关闭机构能平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其释放该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)、但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构能平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其贴靠于该阀座(5)上；

承载该关闭机构(4)的阀杆(9)；

纵向行程线性导向装置(13)，其具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向；

纵向行程驱动装置(25)，其中，为了在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构(4)，能由该纵向行程驱动装置相对于纵向行程导向部件(15)来偏移所述纵向行程滑块(14)；以及

横向行程驱动装置(31)，以在中间位置和关闭位置之间移动该关闭机构(4)；

其特征在于，该真空阀另外还包含有横向行程线性导向装置(17)，该横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中所述横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在与纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向，

其中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构(4)，横向行程滑块(18)能由横向行程驱动装置(31)相对于横向行程导向部件(19)来偏移，并且在此所述纵向行程导向部件(15)也相对于纵向行程滑块(14)进行偏移。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)相对于纵向移动方向(16)倾斜了一小于45°的角(37)。

3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)相对于纵向移动方向(16)倾斜了一大于4°的角(37)。

4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)与该纵向移动方向(16)夹了一个处于5°至20°的范围内的角(37)。

5.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)位于由纵向移动方向(16)和横向移动方向(30)所确定的平面中。

6.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，该横向移动方向(30)与纵向移动方向(16)相垂直。

7.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，该横向移动方向(30)与该阀开口(2)的轴线(3)相平行。

8.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，该阀杆(9)具有平行于纵向移动方向(16)的纵轴线(10)。

9.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，所述纵向行程滑块(14)与纵向行程驱动装置(25)之间的连接具有平行于横向移动方向(30)的可运动性。

10.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，所述纵向行程滑块(14)与该阀杆(9)刚性连接。

11.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，所述横向行程滑块(18)与纵向行程导向部件(15)刚性连接。

12.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，与该阀杆(9)相连接的连接部件(12)的两侧分别设置有纵向行程滑块(14)，所述纵向行程滑块由相应的纵向行程导向部件(15)平行于纵向移动方向能偏移地导向，其中这两个纵向行程导向部件(15)分别与横向行程滑块(18)相连接，横向行程滑块由相应的横向行程导向部件(19)平行于倾斜移动方向(20)能偏移地导向。