[发明专利]真空阀

说明书

一种真空阀，该真空阀包含有阀体(1)，该阀体具有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)，该真空阀还包含有关闭机构(4)，该关闭机构可以平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其露出该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构可以平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其位于该阀座(5)上，该真空阀还包含有承载该关闭机构(4)的阀杆(9)、纵向行程线性导向装置(13)，纵向行程线性导向装置具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向，该真空阀还包含有横向行程线性导向装置(17)，横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在于纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向。

技术领域

本发明涉及一种真空阀，其包含有阀体，该阀体带有由阀座所围绕的、并具有轴线的阀开口，该真空阀还包含有关闭机构，该关闭机构可以在释放阀开口的打开位置与覆盖该阀开口、但从阀座取下的中间位置之间平行于纵向移动方向来移动，并且该关闭机构可以在中间位置与贴靠到阀座上的关闭位置之间平行于横向移动方向来移动，该真空阀还包含有承载该关闭机构的阀杆、纵向行程线性导向装置，该线性导向装置具有与该阀杆相连的纵向行程滑块和纵向行程线性导向部件，其中纵向行程滑块由纵向行程导向部件在纵向移动方向上线性可偏移地导向，该真空阀还包含有纵向行程驱动装置，其中由纵向行程驱动装置为了在该打开位置与该中间位置之间移动该关闭机构而能够相对于纵向行程导向部件来偏移纵向行程滑块，该真空阀还包含有横向行程驱动装置，以在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构。

背景技术

在真空阀中为了关闭真空阀，该关闭机构首先在平行于阀杆的纵向移动方向上从打开位置偏移到中间位置，在中间位置中该关闭机构覆盖该阀开口但从阀座上取下，并然后在与纵向移动方向成角度的横向移动方向上被贴靠到该阀座上，这种真空阀也被称作L阀。

在一种不同构造方式的L阀中，该阀杆围绕与纵向移动方向垂直的轴可枢转地布置，以能够把阀板从其中间位置移动到其关闭位置以及反向移动。为了围绕该轴线来枢转该阀杆，在此可以采用连杆导轨，这比如在US 6,237，892 B1、US 7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中被公开。

在L阀中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构，该关闭机构以与纵向移动方向成角度的、尤其直角的横向移动方向上来进行平行偏移，根据一种常规的实施方式，在承载该关闭机构的承载单元上设置有驱动元件以在中间位置与该关闭位置之间移动该关闭机构，其中该承载单元位于该真空阀的阀壳体中并设置在从该真空阀的真空区域引出的阀杆上。这种L阀的实施比如参见US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122B2。US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2在此还涉及顺序控制，以保证该活塞-气缸单元操作的正确过程。在US 8，177，190 B2中公开了L阀的另一种这样的顺序控制。

在一种L阀中，该关闭机构在中间位置与关闭位置之间进行线性偏移，其中不仅用于在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构的驱动装置、而且用于在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构的驱动装置都布置在真空外部，参见WO 2010/034046 A1。在纵向移动方向上可偏移地支承该阀杆的块上还设置有用于在纵向移动方向上移动该阀杆的驱动装置，该块在此还在与纵向移动方向相垂直的横向移动方向上线性可偏移，其中这种线性偏移借助在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行。

US 7,762,527 B2还提供了L阀的一种实施方式，其中用于在纵向移动方向上以及在横向移动方向上线性移动该关闭机构的驱动装置布置在真空外部。一种可能的构造在此规定，用于在纵向移动方向上相对于阀壳体来移动该关闭机构的活塞-气缸单元借助线性导向装置在垂直于纵向移动方向的横向移动方向上可偏移地支承。