[发明专利]借助于激光束连续地处理固体的设备和方法

权利要求书

1.一种用于在固体(2)的内部中构成分离区域或者多个子分离区域的设备(1)，

至少包括：

容纳装置(4)，所述容纳装置具有用于容纳至少一个固体(2)的容纳部分(6)和用于保持所述容纳部分(6)的保持部分(10)，其中所述容纳部分(6)能够借助于驱动装置连续地驱动；

激光装置(14)，所述激光装置用于提供激光束(16)以借助于多光子激发在至少一个所述固体(2)的内部中产生改型部(18)；

光学装置(20)，所述光学装置用于引导所述激光束(16)，其中所述激光束(16)能够借助于所述光学装置(20)转向为，使得至少一个所述固体(2)能够在不同的位置处受到所述激光束(16)的照射，其中所述容纳部分(6)以能围绕转动轴线(R)转动的方式安装，其中所述固体(2)中的一个或多个能够以距所述转动轴线(R)可变的距离受到所述激光束(16)的照射，

其特征在于，

设有距离调整装置(28)，所述距离调整装置用于调整所述光学装置(20)的至少一个元件相对于所述固体(2)的表面的表面部分(30)的距离，

其中所述距离调整装置(28)包括：至少一个距离确定装置(32)，所述距离确定装置用于确定所述固体(2)的表面部分(30)相对于所述距离确定装置(32)的距离；和偏转装置(34)，所述偏转装置用于根据通过所述距离确定装置(32)所确定的在所述固体(2)的表面部分(30)和所述距离确定装置(32)之间的距离来调整所述光学装置(20)的至少一个所述元件相对于所述固体(2)的表面部分(30)的距离，

其中所述距离确定装置(32)设置为，使得所述距离确定在如下位置处进行，所述位置与所述激光束(16)进入所述固体(2)中的位置不同，其中进行所述距离确定的位置和所述激光束(16)进入所述固体(2)中的位置位于围绕所述转动轴线(R)的同一圆形轨道上，其中进行所述距离确定的位置和所述激光束(16)进入所述固体(2)中的位置以小于270°的方式彼此间隔开。

2.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

所述容纳部分(6)的转动速度能够借助于所述驱动装置根据所述激光束(16)进入所述固体(2)中的位置距所述转动轴线(R)的距离来改变。

3.根据权利要求1或2所述的设备，

其特征在于，

所述容纳部分(6)能够以每分钟大于100转围绕所述转动轴线(R)转动，并且能够由所述激光装置(14)发射具有至少0.5MHz的频率的激光束(16)以产生所述改型部(18)。

4.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

进行所述距离确定的位置和所述激光束(16)进入所述固体(2)中的位置以小于180°的方式彼此间隔开。

5.根据权利要求1或2所述的设备，

其特征在于，

所述光学装置(20)的至少其中一个元件能够借助于所述偏转装置(34)偏转为，使得在所述光学装置(20)和所述固体(2)的所述表面部分(30)之间的距离改变至少部分地是能补偿的，其中所述偏转装置(34)能够根据所述容纳部分(6)的转动速度被控制为，使得所述激光束(16)穿过所述固体(2)的之前进行过距离测量的表面部分(30)的表面进入所述固体(2)中以产生一个或多个所述改型部(18)。

6.根据权利要求1或2所述的设备，

其特征在于，

所述偏转装置(34)具有至少一个执行器(35)，其中所述执行器(35)能够通过大于10Hz的频率来操作。

7.根据权利要求1或2所述的设备，

其特征在于，

所述光学装置(20)具有至少一个激光扫描模块(26)，所述激光扫描模块用于使所述激光束(16)转向到所述固体上，其中所述激光扫描模块(26)能够被控制为，使得在所述容纳部分(6)的转速恒定时，在所述固体(2)的至少两个在径向上与所述转动轴线(R)间距不同的部段(38，40)中，在每一转中能够产生不同数量的沿着径向方向彼此错开的改型部(18)。