[发明专利]压印用固化性组合物、固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模

权利要求书

1.一种压印用固化性组合物，其含有：

单官能聚合性化合物；

多官能聚合性化合物，包含脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为150mPa·s以下；及

光聚合引发剂，

所述压印用固化性组合物中，

相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有超过5质量％且小于30质量％的所述单官能聚合性化合物，

所述单官能聚合性化合物具有碳原子数4以上的直链或支链的烃链，

所述压印用固化性组合物的25℃下的粘度为12mPa·s以下，

所述压印用固化性组合物的固化膜的弹性模量为3.5GPa以下且玻璃化转变温度为90℃以上，

其中，弹性模量是指，针对厚度20μm的压印用固化性组合物的固化膜，利用显微硬度计测定而得的值，此时的压头为棱间角115°的三棱锥形，试验力为10mN，负载速度为0.142mN/秒，保持时间为5秒，测定时的温度为25℃，湿度为50％。

2.根据权利要求1所述的压印用固化性组合物，其中，

所述烃链为直链或支链的烷基。

3.根据权利要求2所述的压印用固化性组合物，其中，

所述烃链为直链烷基。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

所述单官能聚合性化合物的聚合性基团以及包含所述脂环结构和芳香环结构中的至少一者的多官能聚合性化合物的聚合性基团为(甲基)丙烯酰氧基。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

包含所述脂环结构和芳香环结构中的至少一者的多官能聚合性化合物为双官能聚合性化合物。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

至少1种包含所述脂环结构和芳香环结构中的至少一者的多官能聚合性化合物由下述通式(1)所表示，

通式(1)

通式(1)中，Q表示具有脂环结构或芳香环结构的2价基团。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

包含所述脂环结构和芳香环结构中的至少一者的多官能聚合性化合物的25℃下的粘度为50mPa·s以下。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有10质量％～25质量％的所述单官能聚合性化合物。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有45质量％～90质量％的包含所述脂环结构和芳香环结构中的至少一者的多官能聚合性化合物。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的压印用固化性组合物，其中，

所述弹性模量为3.1GPa以下。

11.一种压印用固化性组合物，其含有：

单官能聚合性化合物，具有碳原子数8以上的直链或支链的烷基，且25℃下的粘度为10mPa·s以下；

双官能聚合性化合物，具有脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为50mPa·s以下；及

光聚合引发剂，

所述压印用固化性组合物中，

相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有10质量％～25质量％的所述单官能聚合性化合物，且含有45质量％～90质量％的所述双官能聚合性化合物，

所述压印用固化性组合物的25℃下的粘度为12mPa·s以下。

12.根据权利要求1至3及11中任一项所述的压印用固化性组合物，

所述压印用固化性组合物的大西参数为4.0以下。