[发明专利]含有光碱产生剂的可光成像聚烯烃组合物有效
申请号: | 201680018462.3 | 申请日: | 2016-02-12 |
公开(公告)号: | CN107407872B | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | P·坎达纳朗齐;L·罗德;H·恩济;张伟;B·卡纳普 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/038 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;张燕 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有光 产生 成像 烯烃 组合 | ||
1.一种可光成像组合物,其包括:
a)聚合物,其具有一种或多种由式(IA)表示的第一类型的重复单元,所述第一类型的重复单元衍生自式(I)的单体:
其中:
m为0、1或2的整数;
R1、R2、R3和R4相同或不同,且各自独立地表示氢、卤素、选自线性或支链(C1-C12)烷基、羟基(C1-C12)烷基、全氟(C1-C12)烷基、(C3-C12)环烷基、(C6-C12)双环烷基、(C7-C14)三环烷基、(C6-C10)芳基、(C6-C10)芳基(C1-C6)烷基、全氟(C6-C10)芳基、全氟(C6-C10)芳基(C1-C3)烷基、(C5-C10)杂芳基、(C5-C10)杂芳基(C1-C3)烷基、羟基、(C1-C12)烷氧基、(C3-C12)环烷氧基、(C6-C12)双环烷氧基、(C7-C14)三环烷氧基、(C6-C10)芳氧基(C1-C3)烷基、(C5-C10)杂芳氧基(C1-C3)烷基、(C6-C10)芳氧基、(C5-C10)杂芳氧基、(C1-C6)酰氧基、-(CH2)a-C(CF3)2OR、-(CH2)a-CO2R、式(A)的基团:-(CH2)b-(OCH2-CH2)c-OR(A);和式(B)的基团:的烃基或卤代烃基,
其中:
a为0至4的整数;
b为0至10的整数;
c为0、1、2、3或4的整数;且
R为氢、线性或支链(C1-C6)烷基、(C5-C8)环烷基、(C6-C10)芳基或(C7-C12)芳烷基;
和/或
由式(IIA)表示的第二类型的重复单元,所述第二类型的重复单元衍生自式(II)的单体:
其中:
R8、R9、R10和R11相同或不同,且各自彼此独立地选自氢、线性或支链(C1-C6)烷基、(C5-C8)环烷基、(C6-C10)芳基和(C7-C12)芳烷基;以及
由式(IIIA)或(IIIB)表示的第三类型的重复单元,所述第三类型的重复单元衍生自式(III)的单体:
其中:
Z为O或N-R12,其中R12为氢、线性或支链(C1-C9)烷基、(C3-C7)环烷基和(C6-C12)芳基;
R5、R6和R7各自彼此独立地选自氢、线性或支链(C1-C9)烷基、氟化或全氟化(C1-C9)烷基、(C6-C12)芳基和(C6-C12)芳基(C1-C12)烷基;且
其中,在价态允许的情况下,各个前述基团任选被一个或多个选自以下的基团取代:线性或支链(C1-C6)烷基、(C3-C7)环烷基、(C1-C6)全氟烷基、(C1-C6)烷氧基、(C3-C7)环烷氧基、(C1-C6)全氟烷氧基、卤素、羟基、线性或支链羟基(C1-C6)烷基、乙酰氧基、苯基、羟基苯基和乙酰氧基苯基;
b)光碱产生剂;以及
c)载体溶剂,
其中,所述光碱产生剂选自:
式(IV)的化合物:
式(V)的化合物:
式(VI)的化合物:
式(VIIA)、(VIIB)或(VIIC)的化合物:
其中:
R13和R14各自彼此独立地选自氢、线性或支链(C1-C8)烷基和(C6-C10)芳基,或者R13和R14与其所连接的氮原子一起形成5至7元单环或6至12元双环,所述环任选含有一种或多种选自O和N的杂原子,且所述环任选被线性或支链(C1-C8)烷基、(C6-C10)芳基、卤素、羟基、线性或支链(C1-C8)烷氧基和(C6-C10)芳氧基取代;且
R15、R16和R17相同或不同,且各自彼此独立地选自氢、线性或支链(C1-C16)烷基、(C6-C10)芳基、(C6-C10)芳基(C1-C3)烷基、羟基、卤素、线性或支链(C1-C12)烷氧基和(C6-C10)芳氧基。
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