[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，包括：

-阀体(1)，阀体带有被阀座(5)包围的阀开口(2)，阀开口具有轴线(3)；

-封闭件(4)，该封闭件能平行于纵向移位方向(14)在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口(2)释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口(2)、但从阀座(5)提升离开，并且，该封闭件能平行于横向移位方向(15)在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座(5)上；

-承载着封闭件(4)的阀杆(9)，该阀杆能平行于纵向移位方向(14)以及平行于横向移位方向(15)移动地安置；

-与阀杆(9)刚性地连接的移动部件(13)；和

-驱动电动机(25、26)，为了使得封闭件(4)在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机能使得传动轴(21、22)围绕平行于纵向移位方向(14)的旋转轴线(23)转动，

其特征在于，所述传动轴(21、22)在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34、43)，其中，为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，纵向移动接合件与移动部件(13)平行于纵向移位方向(14)不可移动地连接，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36、44)配合作用，横向移动接合件与移动部件(13)平行于横向移位方向(15)不可移动地连接。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，为了使得阀杆(9)平行于纵向移位方向(14)且平行于横向移位方向(15)可移动地安置，将移动部件(13)相对于与阀体(1)刚性地连接的承载体(20)平行于纵向移位方向(14)且平行于横向移位方向(15)可移动地安置。

3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，设置有用于移动部件(13)的至少一个纵向直线引导件，该纵向直线引导件使得移动部件(13)平行于纵向移位方向(14)可移动地安置，并通过至少一个横向直线引导件平行于横向移位方向(15)可移动地安置。

4.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，平行于横向移位方向(15)不可移动的滑块(45)借助至少一个纵向直线引导件平行于纵向移位方向(14)可移动地安置，该滑块使得移动部件(13)平行于横向移位方向(15)可移动地安置，其中，移动部件(13)相对于滑块(45)平行于纵向移位方向(14)不可移动地被保持住。

5.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，横向移动凸轮件(33、34)构造成带有外表面的凸轮盘的形式，用于引导横向移动接合件(35、36)，或者，横向移动凸轮件(43)具有引导槽(43a)，用于形成横向移动接合件(44)的槽引导。

6.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，传动轴(21、22)在第二区段中具有第一和第二横向移动凸轮件(33、34)，它们形成双凸轮盘，并与第一和第二横向移动接合件(35、36)配合作用。

7.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，由纵向移动凸轮件(31)构成的凸轮具有无坡度的区段(31b)，其中，在封闭件(4)的从打开位置到中间位置的移位结束时，纵向移动接合件(32)进入到所述无坡度的区段(31b)中。

8.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，纵向移动凸轮传动机构是汽缸凸轮传动机构。