[发明专利]真空阀

说明书

一种真空阀，包括：封闭件(4)，该封闭件可平行于纵向移位方向(14)在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口(2)释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口(2)，但从阀座(5)提升离开，并且，该封闭件可平行于横向移位方向(15)在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座(5)上；承载着封闭件(4)的阀杆(9)，该阀杆可平行于纵向移位方向(14)以及平行于横向移位方向(15)移动地安置；与阀杆(9)刚性地连接的移动部件(13)；和驱动电动机(25、26)，为了使得封闭件(4)在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机可使得传动轴(21、22)围绕平行于纵向移位方向(14)的旋转轴线(23)转动。传动轴(21、22)在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34、43)，为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36、44)配合作用。

技术领域

本发明涉及一种真空阀，其包括：阀体，阀体带有被阀座包围的阀开口，阀开口具有轴线；封闭件，该封闭件可平行于纵向移位方向在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口，但从阀座提升离开，并且，该封闭件可平行于横向移位方向在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座上；承载着封闭件的阀杆，该阀杆可平行于纵向移位方向以及平行于横向移位方向移动地安置；与阀杆刚性地连接的移动部件；和驱动电动机，为了使得封闭件在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机可使得传动轴围绕平行于纵向移位方向的旋转轴线转动。

背景技术

对于一些真空阀而言，为了关闭真空阀，封闭件首先沿平行于阀杆的纵向移位方向从打开位置移动至中间位置，在该中间位置，封闭件遮盖阀开口，但从阀座提升离开，随后在垂直于纵向移位方向的横向移位方向上贴靠到阀座上，这种真空阀也称为L阀。

在L阀的非常规的构造方式情况下，阀杆围绕垂直于纵向移位方向的轴线可摆动地安置，以便能实现阀板从其中间位置移位至其关闭位置，反之亦然。为了使得阀杆围绕轴线摆动，这里可以采用滑槽引导件，这比如由US 6,237,892B1、US 7,066,443B2或US 2012/0258242 A1已知。

对于一些L阀而言，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，封闭件在与纵向移位方向形成夹角、特别是直角的横向移位方向上进行平行移动，根据通常的实施方式，把用来使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位的驱动元件设置在承载着封闭件的承载单元上，其中，该承载单元位于真空阀的阀壳体内部，并安置在从真空阀的真空区域伸出的阀杆上。L阀的这种设计例如由US 6,056,266A、US 6,899,316B2和US 7,611,122B2已知。

由WO 2010/034046 A1、US 7,762,527B2和WO 2014/075757 A1已知如下L阀，封闭件在中间位置与关闭位置之间进行直线移动，其中，无论用来使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位的驱动件，还是用来使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位的驱动件，都设置在真空之外。承载着封闭件的阀杆在此既可在纵向移位方向上平行地移动，又可在横向移位方向上平行地移动。在此就WO 2014/075757 A1所公开的真空阀而言，在真空之外把传递部件安置在阀杆上，该阀杆可被杆状的引导部分沿纵向移位方向可移动地引导，其中，杆状的引导部分在垂直于纵向移位方向的横向移位方向上可移动。为了使得杆状的引导部分、进而使得阀杆在横向移位方向上移动，采用了气动的活塞-汽缸单元，这些单元作用在杆状的引导部分上。为了使得阀杆在纵向移位方向上移动，也采用了气动的活塞-汽缸单元，这些单元作用在传递部分上。