[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，并相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，其具有光罩检测部及物体检测部，该光罩检测部配置于该物体与光罩之间，且以不透过该投影光学系的方式进行形成在该光罩的标记的标记检测，该物体检测部配置于该物体与该光罩之间，且以不透过该投影光学系的方式进行形成在该物体的标记的标记检测；

第1驱动系，是驱动该标记检测部；

第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及

控制装置，是以在该投影光学系的驱动前先进行该标记检测部的驱动的方式控制该第1及第2驱动系；

该标记检测部，具有在相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向，设在该投影光学系的一侧的第1检测装置、与设在该投影光学系的另一侧的第2检测装置；

该控制装置，是以在从该另一侧往该一侧的该扫描曝光中，根据该第1检测装置的检测结果驱动该投影光学系，而在从该一侧往该另一侧的该扫描曝光中，则根据该第2检测装置的检测结果驱动该投影光学系的方式控制该第1及第2驱动系。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于其中，该控制装置，是以该标记检测部进行的至少一部分的该标记检测结束后，驱动该投影光学系的方式控制该第1及第2驱动系。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于其中，该物体至少具有位置互异的第1及第2区划区域；

该控制装置，是以在进行对该第2区划区域的从该一侧往另一侧的该扫描曝光之前，将该第2检测装置驱动控制至可检测该第2区划区域内的该标记的位置的方式控制该第2驱动系。

4.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于其中，该控制装置是以在从该另一侧往一侧的该扫描曝光中，一边将该第1检测装置及该投影光学系从该另一侧往该一侧驱动、一边将该第2检测装置从该另一侧往该一侧驱动的方式控制该第1及第2驱动系。

5.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于其中，该控制装置，是以包含该标记检测的标记检测动作与包含该扫描曝光的扫描曝光动作的至少部分动作并行的方式进行控制。

6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于其中，该标记检测动作包含该标记检测部往进行该标记检测动作的位置的移动的检测位置移动动作；

该扫描曝光动作包含该扫描曝光开始前的该投影光学系的移动动作。

7.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于其中，该控制装置，是在该标记检测动作及该扫描曝光动作的至少一方的动作中，使该投影光学系的驱动速度与该标记检测部的驱动速度相异。

8.根据权利要求7所述的曝光装置，其特征在于其中，该标记检测部的驱动速度，与仅进行该标记检测动作时相比较，在与该扫描曝光动作并列进行该标记检测动作时较慢。

9.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于其中，该标记检测部系设置成可检测在与相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向交叉的方向，与该照明光照射的区域的长度相比较，设在该物体上的多个该标记间的距离较长的标记。

10.根据权利要求9所述的曝光装置，其特征在于其中，该物体具有在与该扫描方向交叉的方向并排设置的第1及第2区划区域；

该标记检测部被设置成能在与该扫描方向交叉的方向，同时检测该第1区划区域上的至少1个该标记与该第2区划区域上的至少1个该标记。

11.根据权利要求10所述的曝光装置，其特征在于其中，该控制装置，在将进行该扫描曝光动作的区域从该第1区划区域变更为第2区划区域的情形时，使该物体与该投影光学系往与该扫描方向交叉的方向相对移动，与该相对移动并行，使该标记检测部与该投影光学系移动至检测开始位置。