[发明专利]树脂组合物、聚酰亚胺树脂膜及其制造方法

权利要求书

1.一种树脂组合物，其特征在于，含有

(a)聚酰亚胺前体，在350℃下加热1小时形成膜厚0.1μm的聚酰亚胺树脂膜时的308nm的吸光度为0.1以上且0.8以下；

(b)烷氧基硅烷化合物，在形成0.001质量％的NMP溶液时的308nm的吸光度在溶液厚度1cm的情况下为0.1以上且1.0以下，

所述(a)聚酰亚胺前体包含选自下述式(5-1)、式(5-2)和(6-1)分别所示的结构单元中的1种以上，

并且，

所述(b)烷氧基硅烷化合物为选自由下述通式(2)、(3)、(9)和(10)分别所示的化合物组成的组中的至少1种，

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述式(5-1)所示的结构单元与所述式(5-2)所示的结构单元的摩尔比为90/10～50/50。

3.一种聚酰亚胺树脂膜，其为权利要求1或2所述的树脂组合物的固化物。

4.一种树脂膜，其包含权利要求3所述的聚酰亚胺树脂膜。

5.一种聚酰亚胺树脂膜的制造方法，其包括如下工序：

将权利要求1或2所述的树脂组合物涂布在支承体的表面上的工序；

对所涂布的树脂组合物进行干燥，去除溶剂的工序；

对所述支承体和所述树脂组合物进行加热而形成聚酰亚胺树脂膜的工序；和

将所述聚酰亚胺树脂膜从所述支承体剥离的工序。

6.根据权利要求5所述的聚酰亚胺树脂膜的制造方法，其中，将所述聚酰亚胺树脂膜从支承体剥离的工序包括从支承体侧照射激光后进行剥离的工序。

7.一种层叠体，其包含支承体、和该支承体的表面上的权利要求1或2所述的树脂组合物的固化物即聚酰亚胺树脂膜。

8.一种层叠体的制造方法，其包括如下工序：

将权利要求1或2所述的树脂组合物涂布在支承体的表面上的工序；

对所涂布的树脂组合物进行干燥，去除溶剂的工序；和

对所述支承体和所述树脂组合物进行加热而形成聚酰亚胺树脂膜的工序。

9.一种显示基板的制造方法，其包括如下工序：

将权利要求1或2所述的树脂组合物涂布在支承体上的工序；

对所涂布的树脂组合物进行干燥，去除溶剂的工序；

对所述支承体和所述树脂组合物进行加热而形成聚酰亚胺树脂膜的工序；

在所述聚酰亚胺树脂膜上形成元件或电路的工序；和

将形成有所述元件或电路的聚酰亚胺树脂膜从支承体剥离的工序。