[发明专利]处理工具监视

权利要求书

1.一种监视装置，用于在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具，所述监视装置包括：

接收逻辑电路，其配置成接收在所述外排流的所述处理期间由所述至少一个处理工具生成的处理特性数据；

分离逻辑电路，其配置成将所述处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述至少一个处理工具的所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；以及

故障逻辑电路，其配置成：

通过利用所述做贡献的处理特性数据并且排除所述不做贡献的处理特性数据确定所述情况的状态；以及

提供对在所述做贡献的处理特性数据跨过故障阈值之前的估计的做贡献的时段的数目的指示。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述做贡献的时段包括发生有效半导体处理的时段，并且所述不做贡献的时段包括没有发生有效半导体处理的时段。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述做贡献的时段包括发生沉积的时段，并且所述不做贡献的时段包括没有发生沉积的时段。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述分离逻辑电路配置成通过比较所述处理特性数据与阈值量、检测偏差量以及模式匹配中的至少一个来标识所述做贡献的时段和所述不做贡献的时段。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成组合来自所述做贡献的时段的做贡献的处理特性数据以提供组合的做贡献的处理特性数据。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成推断所述组合的做贡献的处理特性数据以估计将来的做贡献的处理特性数据。

7.根据权利要求6所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成推断所述组合的做贡献的处理特性数据以使用估计模型来估计将来的做贡献的处理特性数据。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述估计模型操作成推断所述组合的做贡献的处理特性数据以在第一时段内使用线性回归、多项式回归、微分比例计算、基于积分的计算、卡尔曼滤波、粒子滤波和基于案例的推理中的至少一个和在第二时段内使用所述线性回归、所述多项式回归、所述微分比例计算、所述基于积分的计算、卡尔曼滤波、粒子滤波和基于案例的推理中的另外至少一个来估计将来的做贡献的处理特性数据。

9.根据权利要求7所述的装置，其中所述估计模型操作成使用所述将来的做贡献的处理特性数据与随后接收的处理特性数据之间的差异来递归地校准。

10.根据权利要求6所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成在不做贡献的时段期间向所述将来的做贡献的处理特性数据应用基于时间的校准因子。

11.根据权利要求6所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成在所述将来的做贡献的处理特性数据跨过故障阈值时确定故障情况。

12.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述故障逻辑电路配置成当所述不做贡献的处理特性数据在所述不做贡献的时段期间偏离多于所选量时标识故障情况。

13.一种在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具的方法，所述方法包括：

接收在所述外排流的所述处理期间生成的处理特性数据；

将所述处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；

通过利用所述做贡献的处理特性数据并且排除所述不做贡献的处理特性数据确定所述情况的状态；以及

提供对在所述做贡献的处理特性数据跨过故障阈值之前的估计的做贡献的时段的数目的指示。