[发明专利]处理工具监视

说明书

公开了用于监视至少一个处理工具的监视装置、方法和计算机程序产品。用于在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具的监视装置包括：接收逻辑，其可操作成接收在外排流的处理期间生成的处理特性数据；分离逻辑，其可操作成将处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；以及故障逻辑，其可操作成在确定所述情况的状态时利用做贡献的处理特性数据并且排除不做贡献的处理特性数据。以此方式，在确定该工具的情况的状态时仅使用在有助于工具的情况的时段期间生成的数据。忽略或省略在未有助于所述情况的时段期间生成的其它数据，使得可以确定对工具的情况的状态的准确评定。这帮助提供对工具的情况的状态的准确且更加可靠的评定。

技术领域

本发明涉及用于监视至少一个处理工具的监视装置、方法和计算机程序产品。

背景技术

监视处理工具是已知的。处理工具，诸如在真空泵送和减排（abatement）系统中的那些，具有真空泵送机构和用于驱动真空泵送机构的电机，连同减排和辅助设备。真空泵送和减排系统可能被连接成接收从用于处理诸如半导体晶片之类的晶片的半导体处理工具排出的外排流；半导体处理工具具有例如处理室和传送室。

这些处理工具的情况在其操作期间恶化，并且需要检修活动以修复、修理或检修工具。例如，过滤器可能变得被粒子阻塞并且需要检修。现有技术设法周期性地或在事件之后安排这些检修活动，但是二者是低效的并且具有显著的缺点。

相应地，提供一种用于监视处理工具的改进的技术是所期望的。

发明内容

根据第一方面，提供了一种用于在来自半导体处理工具的外排流的处理期间监视至少一个处理工具的监视装置，所述监视装置包括：接收逻辑，其可操作成接收在外排流的处理期间生成的处理特性数据；分离逻辑，其可操作成将处理特性数据分离成与有助于所述至少一个处理工具的情况的做贡献的时段相关联的做贡献的处理特性数据和与未能有助于所述情况的不做贡献的时段相关联的不做贡献的处理特性数据；以及故障逻辑，其可操作成在确定所述情况的状态时利用做贡献的处理特性数据并且排除不做贡献的处理特性数据。

第一方面认识到，关于现有技术的问题是它们依赖于固定的检修安排，该检修安排通常取决于自向消费者交付系统以来或自执行之前的检修活动以来消逝的时间。这样的安排没有将对于检修活动的利用和实际需要考虑在内，因为当安排检修活动时，系统的情况可能不需要检修，或者可能存在对于检修活动的需要，因为系统比所设想的更加广泛地被使用。第一方面还认识到，虽然测量处理可操作的时段可以是可能的，但是这还可以导致不准确的检修活动。

相应地，提供了一种监视装置。监视装置可以监视一个或多个处理工具。监视可以在半导体处理工具的外排流的处理期间。监视装置可以包括可以接收处理特性数据的接收逻辑。处理特性数据可以在处理外排流时生成。还可以提供分离逻辑。分离逻辑可以基于特性数据是在有助于工具的情况的时段期间生成的还是在未能有助于该情况的时段期间生成的而分离、分开或分类处理特性数据。相应地，可以将处理特性数据分离成做贡献的处理特性数据和不做贡献的处理特性数据。还可以提供故障逻辑。故障逻辑可以在确定所述情况的状态时利用做贡献的处理特性数据。故障逻辑还可以在确定该状态时排除不做贡献的处理特性数据。以此方式，在确定该工具的情况的状态时仅使用在有助于工具的情况的时段期间生成的数据。忽略或省略在未有助于所述情况的时段期间生成的其它数据，使得可以确定对工具的情况的状态的准确评定。这帮助提供对工具的情况的状态的准确且更加可靠的评定。

在一个实施例中，接收包括从处理工具接收处理特性数据。相应地，数据可以从处理工具自身接收。

在一个实施例中，做贡献的时段包括时段第一可检测阶段，并且不做贡献的时段包括第二可检测阶段。因此，做贡献的时段和不做贡献的时段可以包括处理工具的操作或非操作的任何可检测的或可区分的阶段。