[发明专利]防护膜组件的制造方法及带有防护膜组件的光掩模的制造方法有效
申请号: | 201680023233.0 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN107533283B | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 高村一夫;种市大树;小野阳介;石川比佐子;美谷岛恒明;佐藤泰之;广田俊明 | 申请(专利权)人: | 三井化学株式会社;龙云株式会社 |
主分类号: | G03F1/62 | 分类号: | G03F1/62;G03F1/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;陈彦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防护 组件 制造 方法 带有 光掩模 | ||
1.一种防护膜组件的制造方法,是制造包含防护膜和支撑所述防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法,所述方法包含如下操作:
在基板上形成所述防护膜,
将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片分别粘贴于所述基板上的所述防护膜以及所述基板的与形成有所述防护膜的面相反一侧的面,
在以分别覆盖所述基板上的所述防护膜以及所述基板的与形成有所述防护膜的面相反一侧的面的方式粘贴有所述粘着片的状态下,在粘贴有所述粘着片的部分的所述基板的内部形成切口,
维持粘贴有所述粘着片的状态,将所述基板的形成了所述切口的部分的外侧的基板外周部分离,从而形成所述防护膜组件框,
对所述粘着片给予所述刺激而剥离所述粘着片。
2.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,其包含如下操作:从所述基板的与形成有所述防护膜的面相反一侧的面进行蚀刻而露出所述防护膜。
3.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,从所述基板的与形成有所述防护膜的面相反一侧的面进行蚀刻而露出所述防护膜后,
在露出所述防护膜的区域的周围,将所述粘着片粘贴于所述基板的两面侧。
4.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,所述基板在成为防护膜组件框的部分与基板外周部之间具有开口部,具备将所述成为防护膜组件框的部分与所述基板外周部之间联接的桥接部,
在所述基板的内部形成所述切口是指在所述桥接部形成所述切口。
5.根据权利要求4所述的防护膜组件的制造方法,所述粘着片以覆盖所述桥接部的两面和侧面的方式粘贴。
6.根据权利要求4所述的防护膜组件的制造方法,所述桥接部与所述防护膜组件框的四角连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的防护膜组件的制造方法,在所述基板的内部形成所述切口的操作使用隐形切割法。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的防护膜组件的制造方法,所述粘着片具有抗静电性。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的防护膜组件的制造方法,在将所述基板外周部分离而形成所述防护膜组件框时,用吸引装置吸引分离部分的气体。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的防护膜组件的制造方法,所述防护膜的膜厚为10nm以上50nm以下。
11.一种带有防护膜组件的光掩模的制造方法,其包含如下操作:将通过权利要求1至6中任一项所述的防护膜组件的制造方法制造的防护膜组件,介由安装于所述防护膜组件框的框体而与光掩模接合。
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