[发明专利]超声波振子、超声波探头以及超声波振子的制造方法

权利要求书

1.一种超声波振子，其特征在于，

该超声波振子包括：

多个压电元件，其用于与电信号的输入相应地射出超声波、并且将从外部入射的超声波转换为电信号；

基板，其用于相对于各压电元件输入输出电信号；

多个信号输入输出用电极，其设在所述压电元件和所述基板之间，这些信号输入输出用电极将所述压电元件和所述基板电连接；

多个第1背衬件，其设在所述多个压电元件的配设有所述信号输入输出用电极的一侧，该第1背衬件用于使利用该多个压电元件的动作发出的超声波振动衰减；

多个密封部，其用于密封连接所述基板和所述信号输入输出用电极的电路径的至少一部分的外表面；

壁部，其包围具有所述压电元件、所述第1背衬件、所述信号输入输出用电极以及所述密封部的多个振荡部；以及

第2背衬件，其设在所述壁部和所述多个振荡部所形成的中空空间，该第2背衬件用于使所述超声波振动衰减，

所述多个压电元件、所述多个第1背衬件、所述基板的一部分、所述多个信号输入输出用电极以及所述多个密封部是将层叠分别构成该压电元件、该第1背衬件、该基板、该信号输入输出用电极以及该密封部的多个材料而形成的成形用构件沿着该层叠方向进行分割而成的，

通过将所述第2背衬件的声阻抗设定为小于所述第1背衬件的声阻抗，使得能够保持所述压电元件并使无用振动衰减，并且利用所述第2背衬件能够不向相邻的所述压电元件传递会导致串扰的振动。

2.根据权利要求1所述的超声波振子，其特征在于，

所述信号输入输出用电极具有形成所述电路径的一部分的厚壁部。

3.根据权利要求1所述的超声波振子，其特征在于，

该超声波振子包括连接电极，该连接电极分别与所述基板和所述信号输入输出用电极相连接，形成所述电路径。

4.根据权利要求3所述的超声波振子，其特征在于，

所述基板的一部分保持于所述第1背衬件，

所述连接电极隔着所述第1背衬件的侧面与所述基板相连接。

5.根据权利要求3所述的超声波振子，其特征在于，

所述连接电极包括利用物理蒸镀法形成的薄膜和利用湿式镀敷形成的镀覆膜。

6.根据权利要求4所述的超声波振子，其特征在于，

所述基板的一部分埋设于所述第1背衬件。

7.根据权利要求4所述的超声波振子，其特征在于，

所述基板的一部分沿着所述第1背衬件的侧面进行设置。

8.根据权利要求1所述的超声波振子，其特征在于，

该超声波振子还包括：

第2电极，其与所述信号输入输出用电极成对；以及

声阻匹配层，其设在所述压电元件的配设有所述第1背衬件的一侧的相反侧，该声阻匹配层用于调整所述超声波的声阻抗，

所述第2电极借助设在所述声阻匹配层和所述压电元件之间的导电性树脂接地于接地电位。

9.根据权利要求1所述的超声波振子，其特征在于，

所述多个压电元件在分割所述成形用构件而成的扫描方向和与该扫描方向大致正交的正视方向上进行排列。

10.一种超声波探头，其特征在于，

在顶端具备权利要求1所述的超声波振子。