[发明专利]超声波振子、超声波探头以及超声波振子的制造方法

说明书

本发明的超声波振子包括多个压电元件、用于相对于压电元件输入输出电信号的基板、设在压电元件和所述基板之间且将所述压电元件和所述基板电连接的多个信号输入输出用电极、设在多个压电元件的配设有所述信号输入输出用电极的一侧且用于使利用该多个压电元件的动作发出的力衰减的多个背衬件、以及用于密封连接基板和信号输入输出用电极的电路径的至少一部分的外表面的多个密封部，多个压电元件、多个背衬件、基板的一部分、多个信号输入输出用电极以及多个密封部是将层叠分别构成该压电元件、该背衬件、该基板、该信号输入输出用电极以及该密封部的多个材料而形成的成形用构件沿着该层叠方向进行分割而成的。

技术领域

本发明涉及用于向观测对象射出超声波、并且接收由观测对象反射来的超声波回波并转换为回波信号进行输出的超声波振子、超声波探头以及超声波振子的制造方法。

背景技术

为了观测作为观测对象的生物体组织或者材料的特性，有时应用超声波。具体地讲，通过超声波振子向观测对象发送超声波，接收由该观测对象反射来的超声波回波，超声波观测装置对接收到的超声波回波实施规定的信号处理，从而能够获取与观测对象的特性相关的信息。

超声波振子具备多个压电元件，该压电元件用于将电脉冲信号转换为超声波脉冲(声脉冲)并向观测对象照射，并且将由观测对象反射来的超声波回波转换为以电压变化体现的电回波信号进行输出(例如参照专利文献1)。例如通过将多个压电元件呈阵列状设置，电子地切换与收发信号相关的元件、或者对各超声波振子的压电体的收发信号施加延迟，从而自观测对象获取超声波回波。

然而，各压电元件利用布线与进行脉冲信号的发送和回波信号的接收的电路板电连接。压电元件和布线例如利用软钎焊料相连接，但有可能由软钎焊时的热导致压电元件的特性发生去极等劣化。

作为抑制压电元件的去极的技术，公开有这样的技术：通过在构成压电元件的母材的侧面形成用于与电路板电连接的导电性的薄膜，在薄膜形成之后分割母材，从而不进行软钎焊就能够将多个压电元件和电路板电连接(例如参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002－224104号公报

专利文献2：日本特开2007－201901号公报

发明内容

发明要解决的问题

近年来，例如在向被检体内插入并进行该被检体内的观察的内窥镜上安装超声波振子的情况等时，寻求超声波振子的小型化。在将超声波振子小型化的情况下，期望缩窄多个压电元件之间的间距，但在专利文献2所公开的技术中，有时因以窄间距分割母材时产生的应力等导致薄膜自母材(压电元件)剥离。

本发明即是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够抑制压电元件的特性劣化、并且实现多个压电元件的窄间距化的超声波振子、超声波探头以及超声波振子的制造方法。

用于解决问题的方案