[发明专利]用于膜架传送机的改进型弹簧垫有效

专利信息
申请号: 201680023676.X 申请日: 2016-03-14
公开(公告)号: CN107534006B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: J·T·斯蒂芬斯;R·V·拉施克 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 顾晨昕
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 传送 改进型 弹簧
【权利要求书】:

1.一种膜架传送机,其包括:

容器;

盖,其在所述容器部上方形成闭合以界定内部腔室;

弹簧架垫,其耦合到所述容器及所述盖中的至少一者,所述弹簧架包含相对侧壁,所述相对侧壁在前/后方向上延伸且支撑主垫部,所述主垫部界定多个配准槽,所述多个配准槽中的每一者在与所述前/后方向正交的横向方向上延伸且适于卡住膜架的外边缘以限制所述膜架在所述前/后方向上的移动;及

第一梳状结构,其包含多个第一梳状突起,所述多个第一梳状突起在垂直方向上从所述弹簧架垫的所述相对侧壁中的第一者延伸,所述多个第一梳状突起彼此间隔开以界定多个第一梳状间隙,所述垂直方向与所述前/后方向正交且与所述横向方向正交,

其中所述多个第一梳状突起中的相邻者适于啮合及接纳所述膜架的所述外边缘,且所述多个第一梳状间隙中的每一者界定在所述第一梳状结构的所述第一梳状突起中的相邻者之间,所述多个所述第一梳状间隙中的每一者适于卡住所述膜架的所述外边缘以限制所述外边缘在所述前/后方向上的移动,且

其中所述多个配准槽中的每一者在所述横向方向上与所述多个第一梳状间隙中的相应者对准,

其中所述弹簧架垫装载有所述膜架时从未偏转状态过渡至偏转状态,其中在所述未偏转状态中,所述配准槽中的一者的底部位于所述第一梳状间隙的近端与所述第一梳状间隙的远端之间的高度位置,其中在所述偏转状态中,所述主垫部被偏转以使得所述配准槽的所述底部与所述近端处于相同高度位置。

2.根据权利要求1所述的膜架传送机,其包括:

第二梳状结构,其包含多个第二梳状突起,所述多个第二梳状突起在所述垂直方向上从所述弹簧架垫的所述相对侧壁中的第二者延伸,所述多个第二梳状突起彼此间隔开以界定多个第二梳状间隙,

其中所述多个第二梳状突起中的相邻第二梳状突起适于啮合及接纳所述膜架的所述外边缘,且所述多个第二梳状间隙中的第二梳状间隙界定在所述第二梳状结构的所述相邻第二梳状突起之间,所述第二梳状间隙适于卡住所述膜架的所述外边缘以限制所述外边缘在所述前/后方向上的移动,且

其中所述多个配准槽中的每一者在所述横向方向上与所述多个第二梳状间隙中的相应者对准。

3.根据权利要求1所述的膜架传送机,其中所述主垫部界定多个贯通槽,所述多个贯通槽中的每一者安置在所述多个配准槽中的相邻配准槽之间。

4.根据权利要求1所述的膜架传送机,其包括

安置在所述容器的基部上的至少一个基底梳状结构,所述基底梳状结构包含在所述垂直方向上从所述容器的所述基部延伸到所述内部腔室中的多个基底梳状突起,所述基底梳状结构包含彼此间隔开以界定多个基底梳状间隙的多个基底梳状突起,

其中所述多个基底梳状突起中的相邻者适于啮合及接纳所述膜架的所述外边缘,所述多个基底梳状间隙中的每一者界定在所述多个基底梳状突起中的相邻者之间,所述多个基底梳状间隙适于卡住所述膜架的所述外边缘以限制所述外边缘在所述前/后方向上的移动,且

其中所述弹簧架垫的所述多个配准槽中的每一者与所述多个基底梳状间隙中的相应者平面对准。

5.根据权利要求4所述的膜架传送机,其包括从所述基部突起并在所述前/后方向上延伸的配准轨,所述配准轨界定在所述垂直方向上高出所述容器的所述基部的轨高度,其中所述多个基底梳状间隙中的每一者的近端界定相对于所述基部的间隙偏移,所述间隙偏移小于所述轨高度,且其中所述多个基底梳状突起中的每一者相对于所述基部的远端界定大于所述轨高度的突起高度。

6.根据权利要求4所述的膜架传送机,其包括:

安置在所述容器的侧部上的至少一个侧梳状结构,所述侧梳状结构包含在所述垂直方向上延伸到所述内部腔室中的多个侧梳状突起,所述侧梳状结构包含彼此间隔开以界定多个侧梳状间隙的多个侧梳状突起,

其中所述多个侧梳状突起中的相邻者适于啮合及接纳所述膜架的所述外边缘,所述多个侧梳状间隙中的每一者界定在所述多个侧梳状突起中的相邻者之间,所述多个侧梳状间隙中的每一者适于卡住所述膜架的所述外边缘以限制所述外边缘在所述前/后方向上的移动,且

其中所述弹簧架垫的所述多个配准槽中的每一者与所述多个侧梳状间隙中的相应者平面对准。

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