[发明专利]固化性组合物及电子部件的制造方法

权利要求书

1.一种固化性组合物，其包含：

含羧基的树脂、

具有3个以上(甲基)丙烯酰基的第1丙烯酸类单体、

以下述式(1)表示的第2丙烯酸类单体、

光聚合引发剂、

氧化钛、和

在25℃下为固态的环氧化合物，

所述式(1)中，R1及R2分别表示氢原子或甲基，n表示1～6的整数，m表示1～20的整数。

2.如权利要求1所述的固化性组合物，其中，

所述第1丙烯酸类单体的含量与所述第2丙烯酸类单体的含量之比以重量基准计为0.05以上且20以下。

3.如权利要求1或2所述的固化性组合物，其是用于通过显影处理而形成抗蚀膜的显影型抗蚀剂固化性组合物。

4.一种电子部件的制造方法，其包括：

在电子部件主体的表面上涂布权利要求1～3中任一项所述的固化性组合物，形成组合物层的工序；

对所述组合物层照射光来形成固化被膜的工序，其中，

为了形成所述固化被膜，对所述组合物层进行显影。

5.如权利要求4所述的电子部件的制造方法，其中，

所述组合物层为抗蚀剂层，所述固化被膜为抗蚀膜。