[发明专利]机器人的示教方法及机器人

说明书

机器人的示教方法包括如下步骤：摆动步骤，使手绕位于与感测光束的光轴正交的轴上的规定的旋转轴摆动，以利用感测光束在水平方向对目标进行扫描；判定步骤，根据藉由使手摆动而变化的映像传感器（12）的检测信号，判定目标是否与沿手的长度方向的中心轴的位置一致；移位步骤，当判定为不一致时，根据藉由使手摆动而变化的映像传感器的检测信号，算出手的偏移量，根据所算出的偏移量使手沿感测光束的光轴向左右任一方向移位。

技术领域

本发明是关于机器人的示教方法及机器人。

背景技术

一般而言，半导体处理设备中搬送半导体晶圆、显示面板用玻璃基板等时，使用连杆系统的水平多关节型搬送机器人。有时在搬送机器人的手的梢端设有映像传感器（mapping sensor）。藉由映像传感器检测出匣盒内有无收纳基板。映像传感器例如构成为使感测光束在分支为双股状的手的第一及第二梢端部之间的空间内直线前进。一般而言，当利用映像传感器检测对象物时，对象物遮挡感测光束的位置即为其检测位置。因此，无法特别指定映像传感器的光束方向上的位置。作为现有技术，美国专利第752267号说明书中公开有一种技术，即，对于对象物，根据两个不同姿势下的映像传感器的检测位置算出对象物的XY平面位置（例如参照专利文献1）。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：美国专利第7522267号说明书。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，上述现有的方法中，当映像传感器的实际位置与机器人所识别的位置不同时，算出的位置会含有误差。而且，因有机器人的调零误差、机械尺寸的误差等累积，故不仅是角度会产生误差，XY平面位置也会产生误差。其结果，存在无法高精度地示教对象物的位置的问题。

因此，本发明的目的在于准确特别指定对象物的位置、提升机器人的示教精度。

解决问题的手段：

本发明的一形态的机器人的示教方法中，该机器人具备：至少在X轴、Y轴的两个轴方向具有自由度的机械臂；安装在所述机械臂的梢端、且具有分支成双股状的第一梢端部及第二梢端部的手；以使感测光束在所述第一梢端部及第二梢端部之间的空间内直线前进的方式构成，检测目标是否遮挡所述感测光束的映像传感器；及控制所述机械臂的动作的控制装置；该机器人的示教方法包括如下步骤：配置步骤，其是将目标配置在示教位置；第一特别指定步骤，其是使所述手自规定位置直线前进，特别指定当所述目标遮挡所述感测光束时自所述机器人观察的所述目标的前后方向的位置；摆动步骤，其是使手绕位于与所述感测光束的光轴正交的轴上的规定的旋转轴摆动，以利用所述感测光束在水平方向对所述目标进行扫描；判定步骤，其是根据藉由使所述手摆动而变化的所述映像传感器的检测信号，判定所述目标是否与沿所述手的长度方向的中心轴的位置一致；移位步骤，其是当所述步骤中判定为不一致时，根据藉由使所述手摆动而变化的所述映像传感器的检测信号，算出所述手的偏移量，根据所述算出的偏移量使所述手沿所述感测光束的光轴向左右任一方向移位；第二特别指定步骤，其是当所述步骤中判定为一致时，特别指定自所述机器人观察的所述目标的左右方向的位置；及示教步骤，其是根据所述所特别指定的所述目标的前后方向及左右方向的位置向机器人示教与所述示教位置对应的所述手的位置。

映像传感器是根据目标是否遮挡通过手的梢端的空间的感测光束来进行检测的结构。故仅能特别指定自机器人观察的目标的一方向的位置。

根据上述结构，使手绕规定的旋转轴摆动，利用感测光束在水平方向对目标进行扫描。映像传感器的检测信号的波形会变化。根据变化的检测信号算出偏移量。根据算出的偏移量使手移位。藉此，即便有机器人的调零、尺寸上的误差，也可使目标与沿手的长度方向的中心轴的位置、即映像传感器的线中央一致。藉此，能特别指定自机器人观察的目标的平面位置，能根据所特别指定的目标的位置向机器人示教与示教位置对应的手的位置。