[发明专利]光检测装置有效

专利信息
申请号: 201680024252.5 申请日: 2016-04-19
公开(公告)号: CN107532941B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;八代健彦;峰野充史;铃木滋 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01J3/26 分类号: G01J3/26;G02B5/28;G02B26/00
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;黄浩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种光检测装置,其特征在于,

具备:

法布里-珀罗干涉滤光器,其具有距离可变的第1镜及第2镜,且具有使对应于所述第1镜与所述第2镜的距离的光透过的光透过区域;

光检测器,其检测透过所述光透过区域后的光;

支撑构件,其具有载置面,该载置面载置所述法布里-珀罗干涉滤光器的底面中的所述光透过区域的外侧的部分;及

粘合构件,其对所述法布里-珀罗干涉滤光器与所述支撑构件进行粘合,

所述粘合构件的弹性模量小于所述支撑构件的弹性模量,

所述法布里-珀罗干涉滤光器的侧面的至少一部分以所述载置面的一部分配置于所述侧面的外侧的方式,位于所述载置面上,

所述粘合构件配置于由所述侧面及所述载置面的所述一部分形成的角落部,且分别与所述侧面及所述载置面的所述一部分接触,

从所述载置面延伸到所述侧面的所述粘合构件的表面露出于空间,

所述粘合构件包含:配置于所述角落部的第1部分、及配置于所述载置面与所述底面之间的第2部分,

自与所述载置面垂直的方向上的所述第1部分的高度减去与所述载置面垂直的方向上的所述第2部分的厚度所得的值大于所述第2部分的所述厚度。

2.如权利要求1所述的光检测装置,其中,

所述法布里-珀罗干涉滤光器进一步具有支撑所述第1镜及所述第2镜的基板,

配置于所述角落部的所述粘合构件在所述侧面与所述基板接触。

3.如权利要求1所述的光检测装置,其中,

所述侧面包含第1侧面,

所述粘合构件以遍及由所述第1侧面形成的所述角落部的整体而连续的方式,配置于由所述第1侧面形成的所述角落部,且与所述第1侧面接触。

4.如权利要求2所述的光检测装置,其中,

所述侧面包含第1侧面,

所述粘合构件以遍及由所述第1侧面形成的所述角落部的整体而连续的方式,配置于由所述第1侧面形成的所述角落部,且与所述第1侧面接触。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光检测装置,其中,

所述法布里-珀罗干涉滤光器的侧面包含夹着所述光透过区域而彼此相对的第2侧面及第3侧面,

所述粘合构件分别配置于由所述第2侧面形成的所述角落部、及由所述第3侧面形成的所述角落部,且分别与所述第2侧面及所述第3侧面接触。

6.如权利要求1至4中任一项所述的光检测装置,其中,

所述法布里-珀罗干涉滤光器的侧面包含形成角部的第4侧面及第5侧面,

所述粘合构件分别配置于由所述第4侧面形成的所述角落部、及由所述第5侧面形成的所述角落部,且分别与所述第4侧面及所述第5侧面接触。

7.如权利要求5所述的光检测装置,其中,

所述法布里-珀罗干涉滤光器的侧面包含形成角部的第4侧面及第5侧面,

所述粘合构件分别配置于由所述第4侧面形成的所述角落部、及由所述第5侧面形成的所述角落部,且分别与所述第4侧面及所述第5侧面接触。

8.如权利要求6所述的光检测装置,其中,

配置于由所述第4侧面形成的所述角落部的所述粘合构件、与配置于由所述第5侧面形成的所述角落部的所述粘合构件彼此连续。

9.如权利要求7所述的光检测装置,其中,

配置于由所述第4侧面形成的所述角落部的所述粘合构件、与配置于由所述第5侧面形成的所述角落部的所述粘合构件彼此连续。

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