[发明专利]光检测装置有效
申请号: | 201680024252.5 | 申请日: | 2016-04-19 |
公开(公告)号: | CN107532941B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 广瀬真树;柴山胜己;笠原隆;川合敏光;八代健彦;峰野充史;铃木滋 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26;G02B5/28;G02B26/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
本发明的光检测装置(1A)包括:法布里‑珀罗干涉滤光器(10);光检测器(3);间隔件(4),其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面;及粘合构件(5),其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式,位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部,且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
技术领域
本发明关于一种包括法布里-珀罗干涉滤光器的光检测装置,该法布里-珀罗干涉滤光器具有距离可变的第1镜及第2镜。
背景技术
在专利文献1中记载有如下光模块,其包括:干涉滤光器,其具有距离可变的第一反射膜及第二反射膜;基板,其支撑干涉滤光器;粘合层,其介于干涉滤光器与基板之间。对于专利文献1所记载的光模块,在粘合层中使用有凝胶状树脂,以缓和因干涉滤光器与基板之间的热膨胀系数的差而产生于干涉滤光器的应力。
现有技术文献
专利文献]
专利文献1:日本特开2012-173347号公报
发明内容
发明所要解决的问题
然而,在对具有距离可变的第1镜及第2镜的法布里-珀罗干涉滤光器与支撑构件进行固定的情形时,必须精度极佳地控制第1镜与第2镜的距离,因此,若仅使包含凝胶状树脂的粘合层介于法布里-珀罗干涉滤光器与支撑构件之间,无法充分地抑制因使用环境温度的变化等而产生于法布里-珀罗干涉滤光器的应力的变动,其结果,存在无法充分地改善法布里-珀罗干涉滤光器中的透过波长的温度特性(与因法布里-珀罗干涉滤光器而透过的光的波长相关的温度特性)的担忧。另外,若使用包含凝胶状树脂的粘合层而对法布里-珀罗干涉滤光器与支撑构件进行固定,则有支撑构件上的法布里-珀罗干涉滤光器的保持状态变得不稳定的担忧。
因此,本发明的目的在于提供如下光检测装置,其可充分地改善法布里-珀罗干涉滤光器中的透过波长的温度特性,并且可使支撑构件上的法布里-珀罗干涉滤光器的保持状态稳定。
解决问题的技术手段
本发明的一形态的光检测装置包括:法布里-珀罗干涉滤光器,其具有距离可变的第1镜及第2镜,且具有使对应于第1镜与第2镜的距离的光透过的光透过区域;光检测器,其对透过光透过区域后的光进行检测;支撑构件,其具有供载置法布里-珀罗干涉滤光器的底面中的光透过区域外侧的部分的载置面;及粘合构件,其对法布里-珀罗干涉滤光器与支撑构件进行粘合;粘合构件的弹性模量小于支撑构件的弹性模量,法布里-珀罗干涉滤光器的侧面的至少一部分以载置面的一部分配置于侧面的外侧的方式,位于载置面上,粘合构件配置于由侧面及载置面的一部分形成的角落部,且分别与侧面及载置面的一部分接触。
在上述光检测装置中,具有较支撑构件的弹性模量更小的弹性模量的粘合构件配置于由法布里-珀罗干涉滤光器的侧面、及支撑构件的载置面的一部分形成的角落部,且分别与法布里-珀罗干涉滤光器的侧面及支撑构件的载置面的一部分接触。由此,例如相较于使粘合构件仅介于法布里-珀罗干涉滤光器的底面与支撑构件的载置面之间的情形,可使粘合构件充分地吸收因法布里-珀罗干涉滤光器与支撑构件之间的热膨胀系数的差而产生于法布里-珀罗干涉滤光器的应力。另外,例如相较于使粘合构件仅介于法布里-珀罗干涉滤光器的底面与支撑构件的载置面之间的情形,可将法布里-珀罗干涉滤光器以稳定的状态而更牢固地保持于支撑构件上。由此,根据该光检测装置,可充分地改善法布里-珀罗干涉滤光器中的透过波长的温度特性,并且可使支撑构件上的法布里-珀罗干涉滤光器的保持状态稳定。
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