[发明专利]光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置

权利要求书

1.一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描，该光扫描装置的特征在于，

具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和与上述位移传感器邻接设置的上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器，

上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器，

上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述温度传感器与上述位移传感器形成在同一平面上。

3.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

设置有多个上述位移传感器及上述温度传感器，

相对于各个上述位移传感器配置一个上述温度传感器。

4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，

多个上述位移传感器包括检测上述反射镜的水平方向的偏转角的水平位移传感器和检测上述反射镜的垂直方向的偏转角的垂直位移传感器。

5.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述温度传感器具有由白金构成的层。

6.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

还具有：

水平驱动梁，其具备使上述反射镜在水平方向上摆动的水平驱动源；以及

垂直驱动梁，其具备使上述反射镜在垂直方向上摆动的垂直驱动源，

上述水平驱动源及上述垂直驱动源的下部电极与上述温度传感器为相同层构造。

7.一种光扫描控制装置，其特征在于，

具有：

权利要求1所述的光扫描装置；

基于上述温度传感器的电阻值测定上述位移传感器的温度的温度测定电路；以及

基于上述温度测定电路的输出对上述位移传感器的输出进行温度补偿，并控制上述反射镜的偏转角的控制机构。

8.根据权利要求7所述的光扫描控制装置，其特征在于，

上述温度测定电路是双导线式的温度测定电路。

9.一种光扫描装置的制造方法，该光扫描装置使反射镜摆动而使入射光进行扫描，该光扫描装置的制造方法的特征在于，

具有下述工序：

形成检测上述反射镜的偏转角的位移传感器的工序；

与上述位移传感器邻接地形成上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器的工序；

形成水平驱动梁的工序，该水平驱动梁具备使上述反射镜在水平方向上摆动的水平驱动源；以及

形成垂直驱动梁的工序，该垂直驱动梁具备使上述反射镜在垂直方向上摆动的垂直驱动源，

上述位移传感器、上述水平驱动源以及上述垂直驱动源是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电元件，

上述温度传感器是与上述位移传感器、上述水平驱动源以及上述垂直驱动源的下部电极为相同层构造的电阻式测温体，

上述温度传感器、上述位移传感器、上述水平驱动源及上述垂直驱动源的下部电极在同一工序中同时形成。