[发明专利]光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置有效
申请号: | 201680024786.8 | 申请日: | 2016-04-22 |
公开(公告)号: | CN107533221B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 吉田幸弘;竹中恒词;阿贺寿典 | 申请(专利权)人: | 三美电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;B81B3/00;G02B26/08 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;郭成周 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 及其 制造 方法 控制 | ||
本发明提供一种光扫描装置,其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
技术领域
本发明涉及光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置。
背景技术
已知使激光进行扫描来显示图像的光扫描控制装置。该光扫描控制装置具备不经过光学系统而直接检测从光源发出的光的第一检测机构、通过光学系统检测从光源发出的光的第二检测机构。并且,基于第一检测机构和第二检测机构的检测结果的组合,能进行异常判断等(例如参照专利文献1)。
顺便地,使激光进行扫描的光扫描控制装置例如在使激光进行扫描的光扫描装置上具有检测使光进行扫描的反射镜的倾斜状况的位移传感器。光扫描控制装置基于位移传感器的输出,进行反射镜的偏转角控制。
但是,当在位移传感器的输出上具有温度依赖性的情况下,存在无法进行正确的偏转角控制的问题。也考虑在光扫描控制装置的外部设置热敏电阻等补偿用的温度传感器,但由于无法将温度传感器与位移传感器邻接设置而无法正确地检测位移传感器附近的温度,因此难以进行精度更好的温度补偿。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-11852号公报
发明内容
发明所要解决的课题
鉴于上述课题,本发明的一实施例的目的在于提供能以高精度补偿位移传感器的输出的温度依赖性的光扫描装置。
用于解决课题的方案
在本发明的一实施例中,该光扫描装置1提供一种使反射镜310摆动而使入射光扫描的光扫描装置。具有检测上述反射镜310的偏转角的位移传感器391、395、396和上述位移传感器391、395、396的温度补偿用的温度传感器397、398、399。上述位移传感器391、395、396是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器397、398、399是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
另外,上述参照符号是为了容易理解而标注的,只不过是一个例子,并未限定于图示的样式。
发明效果
根据本发明的实施例,能提供能以高精度补偿位移传感器的输出的温度依赖性的光扫描装置。
附图说明
图1是示例本实施方式的光扫描控制装置的方框图。
图2是示例构成光扫描控制装置的光扫描装置的俯视图。
图3是示例本实施方式的光扫描控制装置的外观图(之一)。
图4是示例本实施方式的光扫描控制装置的外观图(之二)。
图5是关于位移传感器的温度依赖性进行说明的图。
图6是水平位移传感器391及温度传感器397附近的局部放大俯视图。
图7是示例温度传感器397的图。
图8是垂直位移传感器395及温度传感器398附近的局部放大俯视图。
图9是关于温度测定电路17进行示例的图。
图10是示例温度传感器397的温度依赖性的图表。
图11是示例温度传感器397的温度依赖性再现性的图表。
图12是示例温度传感器397的配线长依赖性的图表。
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