[发明专利]用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法有效
| 申请号： | 201680025663.6 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107636191B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李文辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 oled 金属 方法 | ||
1.一种用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，包括基板、贯穿所述基板的开口及凸设于所述基板一表面的挡墙，所述挡墙围绕所述开口边缘，并且所述挡墙朝向所述开口的内表面为反射面，所述挡墙用于将所述开口与所述基板其它部分隔离，所述挡墙的内表面形成呈阶梯设置的反射面，所述挡墙设置在基板朝向OLED蒸镀 面的一侧。
2.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的内表面为截面呈V型的反射面。
3.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的垂直于所述基板方向的截面成等腰梯形，使所述内表面向开口外侧张开。
4.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的内表面包括与所述开口边缘相连接的远离开口倾斜的斜面及与所述斜面相连接的遮挡面，所述遮挡面垂直于所述基板表面。
5.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的垂直于所述基板的截面成L，使所述挡墙的内表面形成两个呈阶梯设置的反射面。
6.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的内表面为外凸弧形面。
7.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙包括与所述基板连接的第一部分及与第一部分连接的且材料不同于所述第一部分的第二部分，所述第一部分的内表面与所述第二部分的内表面呈阶梯设置构成所述反射面。
8.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙包括第一墙体及第二墙体，所述第一墙体紧邻所述开口边缘，所述第二墙体围绕所述第一墙体且与所述第一墙体间隔设置，所述第一墙体朝向所述开口的内表面向开口外侧张开形成所述反射面。
9.如权利要求1-7任一项所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙包括背向所述基板的顶面，所述顶面为平面，或者所述顶面为曲面。
10.如权利要求1所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩，其特征在于，所述挡墙的材料为 有机材料、或无机材料。
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