[发明专利]用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法

说明书

一种用于OLED蒸镀的金属遮罩(100)及OLED蒸镀方法，通过在金属遮罩(100)上开口(20)边缘设置挡墙(30)，挡墙(30)可以反射并阻挡蒸镀材料的扩散，使蒸镀材料最大化的留在规定的蒸镀区域(220)内，解决对OLED基板(210)蒸镀时造成像素区域混色的技术问题，从而提高OLED的发光显示效果。

技术领域

本发明涉及金属蒸镀技术，尤其涉及一种用于OLED蒸镀的金属遮罩及OLED蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器具有轻薄主动发光、相应速度较快被广泛应用于智能手机平板电脑等终端上。现有技术中，对OLED的发光子像素形成方式采用蒸镀方法形成，主要是通过金属遮罩配置在OLED基板的蒸镀面与蒸镀源之间，通过加热时蒸镀材料蒸发，并由金属遮罩上的开口对蒸镀面上相应的子像素蒸镀。但是金属遮罩蒸镀的方法，容易产生阴影效应(shadow effect)，也就是对第一种子像素蒸镀时，蒸镀材料可能扩散到第一种子像素规定区域之外，即扩散至第二种子像素区域、或第三种子像素区域而造成混色，影响OLED的发光显示效果。

发明内容

本申请提供一种用于OLED蒸镀的金属遮罩并提供一种OLED蒸镀方法，用以解决对OLED基板蒸镀时造成像素区域混色的技术问题。

本申请所述的用于OLED蒸镀的金属遮罩包括基板、贯穿所述基板的开口及凸设于所述基板一表面的挡墙，所述挡墙围绕所述开口边缘，并且所述挡墙朝向所述开口的内表面为反射面，所述挡墙用于将所述开口与所述基板其它部分隔离。

其中，所述挡墙的内表面为截面呈V型的反射面。

其中，所述挡墙的垂直于所述基板方向的截面成等腰梯形，使所述内表面向开口外侧张开。

其中，所述挡墙的内表面包括与所述开口边缘相连接的远离开口倾斜的斜面及与所述斜面相连接的遮挡面，所述遮挡面垂直于所述基板表面。

其中，所述挡墙的垂直于所述基板的截面成L，使所述挡墙的内表面形成两个呈阶梯设置的反射面。

其中，所述挡墙的内表面为外凸弧形面。

其中，所述挡墙包括与所述基板连接的第一部分及与第一部分连接的且材料不同于所述第一部分的第二部分，所述第一部分的内表面与所述第二部分的内表面呈阶梯设置构成所述反射面。

其中，所述挡墙包括第一墙体及第二墙体，所述第一墙体紧邻所述开口边缘，所述第二墙体围绕所述第一墙体且与所述第一墙体间隔设置，所述第一墙体朝向所述开口的内表面向开口外侧张开形成所述反射面。

其中，所述挡墙包括背向所述基板的顶面，所述顶面为平面，或者所述顶面为曲面。

本申请所述的蒸镀的金属遮罩包括基板、贯穿所述基板的开口，所述基板的表面上还设有凹槽，所述开口与所述凹槽间隔设置，所述开口与所述凹槽之间形成挡墙。

本申请所述的OLED蒸镀方法，包括确定OLED板表面的多个蒸镀区域；

在真空环境中，在蒸镀材料与OLED板表面之间设置金属遮罩；

所述金属遮罩的开口与一个蒸镀区域相对，并且所述挡墙将该蒸镀区域与其它的蒸镀区域隔离开；

加热蒸镀。

本申请所述的OLED蒸镀方法，所述方法包括确定OLED基板表面的多个蒸镀区域；所述每两个蒸镀区域之间设有隔离柱，

在真空环境中，在蒸镀材料与OLED基板表面之间设置金属遮罩；

所述金属遮罩的开口与一个蒸镀区域相对，所述隔离柱插入所述凹槽内，凹槽与开口之间的挡墙隔离该蒸镀区域与开口相对的蒸镀区域之外的其它的蒸镀区域；