[发明专利]形状检查方法、形状检查装置以及程序

权利要求书

1.一种形状检查方法，包括以下步骤：

光切图像生成步骤，从激光光源对物体表面照射线状的激光，利用摄像装置拍摄该物体表面上的由所述激光形成的光切线，由此生成在光切法中使用的摄像图像即光切图像；

指标值计算步骤，分别计算表示所述光切图像中的所述光切线的粗细的粗细指标值和表示该光切线的明亮度的明亮度指标值；

设定变更步骤，变更所述激光光源和所述摄像装置中的至少一方的设定以使计算出的所述粗细指标值和所述明亮度指标值各自包含在预先唯一地决定的规定范围内；以及

形状检查步骤，通过对使所述粗细指标值和所述明亮度指标值各自包含在所述规定范围内之后的所述光切图像进行图像处理，来检查所述物体表面的形状，

其中，在所述指标值计算步骤中，

在与所述物体表面相关的光切图像的各个与所述物体同所述激光光源的相对移动方向对应的方向即列方向上确定提供最大亮度值的像素，在各列中的该最大亮度值具有第一阈值以上的亮度值的情况下，将相应的列设为处理对象像素列，

将在各个所述处理对象像素列中提供所述最大亮度值的像素的像素数与具有相对于该最大亮度值而言的第二阈值以上的亮度值的像素的像素数之和设为各个所述处理对象像素列中的所述光切线的粗细，计算所有所述处理对象像素列中的所述光切线的粗细的平均并将该平均设为所述粗细指标值，

将在计算所述粗细指标值时利用的所有像素处的亮度值的平均除以从所述摄像装置能够输出的最大输出亮度值所得到的值设为所述明亮度指标值。

2.根据权利要求1所述的形状检查方法，其特征在于，

在所述指标值计算步骤中，使用通过仅拍摄处于静止的所述物体上的一条所述光切线所得到的所述光切图像，来计算所述粗细指标值和所述明亮度指标值。

3.根据权利要求1或2所述的形状检查方法，其特征在于，

在所述设定变更步骤中，变更所述激光光源和所述摄像装置中的至少一方的设定，使得所述粗细指标值处于1.27~2.52的范围且所述明亮度指标值处于0.24~0.52的范围。

4.根据权利要求1或2所述的形状检查方法，其特征在于，

在所述设定变更步骤中，

调整所述摄像装置所具备的透镜的焦点、所述激光光源所具备的透镜的焦点以及所述激光光源与所述物体表面之间的分离距离中的至少一个，以使所述粗细指标值处于所述规定范围内，

调整所述摄像装置的曝光时间、所述摄像装置所具备的透镜的光圈、所述摄像装置的增益以及所述激光光源的输出中的至少一个，以使所述明亮度指标值处于所述规定范围内。