[发明专利]光扫描装置、影像装置和TOF型分析装置

权利要求书

1.一种光扫描装置，其特征在于，包括：

扫描部，其具有对入射的光进行引导以使该光从射出端射出的光波导，和产生振动以使所述射出端振动的振动部；和

信号传输部，其对所述扫描部传输信号，使所述扫描部扫描对象物，

所述扫描部具有用第一弹性部件将所述振动部的所述射出端侧的端面与所述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部，

所述光扫描装置还包括：

将所述扫描部支承于壳体的支承部件；和

用第二弹性部件将所述支承部件与所述扫描部粘接的第二粘接兼振动衰减部。

2.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于：

所述第一粘接兼振动衰减部具有硬度在所述光波导的延伸方向上分阶段地不同的多个所述第一弹性部件，

所述第一弹性部件的硬度随着向光的射出方向去而变低。

3.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于：

所述第一粘接兼振动衰减部是向着从所述振动部的端面向射出端去的方向以具有厚度T的方式隆起的形状，

相对于所述振动部的直径D，所述厚度T在0.5D<T<2D的范围内。

4.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于：

所述第一粘接兼振动衰减部的由依照JIS K7215标准的硬度计测量的硬度是A型硬度30以上，D型硬度85以下。

5.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，包括：

至少具有红色光、绿色光和蓝色光的光源的照明部；和

由玻璃或树脂形成的扫描透镜，

所述振动部通过将多个电极设置在中空的圆筒形的压电元件上而构成，

所述光波导是光纤，对由所述照明部产生的光进行引导以使该光射出到所述扫描透镜。

6.如权利要求5所述的光扫描装置，其特征在于：

所述振动部具有在金属管的外周形成具有压电性的薄膜层而得到的所述压电元件，

所述光波导设置在所述振动部的中空部分中。

7.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于：

具有检测所述振动部的振动量的振动检测部，

所述振动部通过将多个电极设置在中空的圆筒形的压电元件上而构成，

所述振动检测部是形成在所述压电元件上的压电性的薄膜层。

8.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于：

具有检测从所述光波导射出的光的返回光的光量的受光部，

所述光波导是光纤，接收射出的光的所述返回光，引导至所述受光部。

9.如权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，包括：

由薄膜构成的面状导光路，其接收从所述光波导射出的光的返回光；和

受光部，其检测由所述面状导光路接收了的所述返回光的光量。

10.一种光扫描装置，其特征在于，包括：

扫描部，其具有对入射的光进行引导以使该光从射出端射出的光波导，和产生振动以使所述射出端振动的振动部；和

信号传输部，其对所述扫描部传输信号，使所述扫描部扫描对象物，

所述扫描部具有用第一弹性部件将所述振动部的所述射出端侧的端面与所述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部，

所述光扫描装置还包括：

容纳所述扫描部和所述信号传输部的具有可挠性的壳体；和

设置在所述壳体的内壁上的具有弹性的第一振动衰减部件。