[发明专利]光扫描装置、影像装置和TOF型分析装置有效
申请号: | 201680027206.0 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN107615132B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 中村俊辉;大内敏;瀬尾欣穗;藤田浩司;尾上慎介;山田健一郎;川村友人 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G01N21/17;G01S7/481;G02B27/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 影像 tof 分析 | ||
本发明目的在于提供能够进一步提高扫描性能的技术。本发明的一个方式的光扫描装置,其特征在于,包括:扫描部,其具有对入射的光进行引导以使其从射出端射出的光波导,和产生振动以使上述射出端振动的振动部;和信号传输部,其对上述扫描部传输信号,使上述扫描部扫描对象物,上述扫描部具有用弹性部件将上述振动部的上述射出端侧的端面与上述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部。
技术领域
本发明涉及光扫描装置、影像装置和TOF型分析装置。
背景技术
随着影像装置的小型化,要求光扫描装置的小型化和性能提高。
在专利文献1中,公开了关于光纤扫描仪的技术。在该文献的段落0017中记载了:“光纤扫描仪1如图1~图3所示,具有:使来自光源部5的照明光从基端侧的入射端6a入射,在长度方向上导光,从前端的射出端6b射出的光纤6;使该光纤6的射出端6b在与长轴交叉的方向上振动的振动发生部7;和使产生的振动衰减的振动衰减部件8。”。另外,在段落0021中记载了:“振动衰减部件8是从弹性部9突出的覆盖光纤6的外表面整周的圆筒部件,由具有可挠性的树脂材料构成。振动衰减部件8如图2所示具有均等的圆环状的横截面形状,具有在光纤6的整周方向上具有相同的机械特性的形状,即绕光纤6的长轴的旋转体形状。”。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2014-180317号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
在由振动部对光纤等光波导施加振动的情况下,存在传导至光波导以外的部分的振动成为外部干扰振动而传播至光波导的情况,对光波导的扫描精度造成影响。
专利文献1的技术中,振动衰减部件是仅覆盖振动的光纤的形状,不能认为振动的衰减性能充分。另外,会成为成本和尺寸的增加的原因。
本发明是鉴于上述问题而完成的,其目的在于提供一种能够使扫描性能进一步提高的技术。
用于解决问题的技术手段
本申请包括解决上述问题的多个技术手段,举其一例,如下所述。
为了解决上述问题,本发明的一个方式的光扫描装置的特征在于,包括:扫描部,其具有对入射的光进行引导以使其从射出端射出的光波导,和产生振动以使上述射出端振动的振动部;和信号传输部,其对上述扫描部传输信号,使上述扫描部扫描对象物,上述扫描部具有用弹性部件将上述振动部的上述射出端侧的端面与上述光波导粘接的第一粘接兼振动衰减部。
根据本发明,能够提供一种进一步提高扫描性能的技术。
上述以外的问题、结构和效果将通过以下实施方式的说明而明了。
附图说明
图1是表示具有光扫描装置的影像装置的功能模块的一例的图。
图2是表示光扫描装置的功能模块的一例的图。
图3是表示扫描部的结构的一例的剖视图。
图4是表示用与光波导的长度方向垂直的截面剖切振动部时的状态的一例的剖视图。
图5是表示第一变形例中的扫描部的结构的一例的剖视图。
图6是表示第二变形例中的扫描部的结构的一例的剖视图。
图7是表示第三变形例中的扫描部的结构的一例的剖视图。
图8是表示第三变形例中的扫描部的结构的其他例子的剖视图。
图9是表示第四变形例中的扫描部的结构的一例的剖视图。
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