[发明专利]曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法

权利要求书

1.一种曝光用照明装置，包括：

光源；

蝇眼透镜，其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件，使来自所述光源的光均匀地射出；以及

反射镜，其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构，将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射，

经由形成有曝光图案的掩模，将来自所述光源的曝光光照射在工件上，将所述曝光图案曝光转印在所述工件，

所述曝光用照明装置的特征在于，

还包括滤光器，所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间，能变更在曝光面的照度分布，

所述滤光器具有排列为p-2～p+2行、q-2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，

所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动，

以使与镜的背面被牵拉而成为凹面状的部分对应的所述蝇眼透镜的部分和所述滤光器的透光率低的部分对置的方式，使所述滤光器在与光轴垂直的方向上移动。

2.如权利要求1所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述滤光器具有排列为p+2行、q+2列的矩阵状的所述多个单元。

3.如权利要求2所述的曝光用照明装置，其特征在于，

在所述滤光器的周围配置的2行所述单元被设计为：在列方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上，

在所述滤光器的周围配置的2列所述单元被设计为：在行方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上。

4.如权利要求1所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述滤光器具有排列为p+1行、q+1列的矩阵状的所述多个单元。

5.如权利要求1～4的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述各单元具有分别相同的透光率分布，

所述滤光器根据所述反射镜的反射面的形状，在与所述光的光轴垂直的方向移动，使得在所述曝光面的照度分布变得均匀。

6.如权利要求1所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述各单元具有从中心部向着周边部透光率逐渐提高的透光率分布。

7.如权利要求1～4的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述滤光器能够沿着所述光的光轴移动。

8.如权利要求1～4的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，

多个所述滤光器沿着所述光的光轴并列配置。

9.一种曝光装置，其特征在于，包括：

掩模支承部，支承掩模；

工件支承部，支承工件；以及

上述权利要求1～8的任一项所述的曝光用照明装置，

将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件，从而将所述掩模的曝光图案曝光转印在所述工件。

10.一种曝光方法，其特征在于，

使用权利要求9所述的曝光装置，将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件，从而将所述掩模的曝光图案曝光转印在所述工件。

11.如权利要求10所述的曝光方法，其特征在于，

在将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件期间，使所述滤光器在与所述光的光轴垂直的方向移动。