[发明专利]曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法

说明书

包括：灯单元(60)；具有排列为p行、q列的矩阵状的多个透镜元件(65a)的蝇眼透镜(65)；包括变更反射面的形状的反射镜变形单元(70)的平面镜(68)；以及滤光器(90)，其具有：排列为p‑2～p+2行、q‑2～q+2列的矩阵状，并分别具有同一透光率分布的多个单元(91)，滤光器(90)配置在灯单元(60)与蝇眼透镜(65)之间，能在与光路(EL)垂直的方向移动。

技术领域

本发明涉及曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法。

背景技术

在以往的曝光装置中，存在补正反射镜的曲率的曲率补正机构设置在照明装置的曝光装置，通过使反射镜弯曲并使反射镜的偏角变化，从而补正曝光图案的形状，得到高精度的曝光结果(例如参照专利文献1)。

另外，在专利文献2所记载的曝光装置中，公开了：为了对应光学系统的随着时间劣化，而包括具备多个液晶单元的照度分布补正滤波器，控制各液晶单元并补正照度分布来补正滤波器的透光率分布，迅速更新照射到蝇眼透镜的多个透镜元件的光的照度分布，使照射到中间掩模的光的照度分布均匀。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-155086号公报

专利文献2：日本特开2006-210553号公报

发明内容

本发明欲解决的问题

可是，若利用曲率补正机构(镜弯曲机构)来补正反射镜的曲率，则在反射镜的反射面变为凸面状的部分，反射光发散且照度下降(变暗)，在反射镜的反射面变为凹面状的部分，反射光会聚且照度提高(变亮)，曝光面的照度分布会产生不均，有可能给曝光精度带来影响。专利文献2所记载的曝光装置是控制照度分布补正滤波器的各液晶单元并使照射到中间掩模的光的照度分布均匀的装置，没有提及反射镜的曲率补正引起的照度分布的不均。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法，能够利用滤光器来抑制镜弯曲引起的在曝光面的照度分布的不均。

用于解决问题的方案

本发明的上述目的由下述的构成实现。

(1)一种曝光用照明装置，包括：

光源；

蝇眼透镜，其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件，使来自所述光源的光均匀地射出；以及

反射镜，其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构，将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射，

经由形成有曝光图案的掩模，将来自所述光源的曝光光照射在工件上，将所述曝光图案曝光转印在所述工件，所述曝光用照明装置的特征在于，

还包括滤光器，所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间，能变更在曝光面的照度分布，

所述滤光器具有排列为p-2～p+2行、q-2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，

所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动。

(2)如(1)所述的曝光用照明装置，其特征在于，

所述滤光器具有排列为p+2行、q+2列的矩阵状的所述多个单元。

(3)如(2)所述的曝光用照明装置，其特征在于，

在所述滤光器的周围配置的2行所述单元被设计为在列方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上，

在所述滤光器的周围配置的2列所述单元被设计为在行方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上。