[发明专利]光扫描装置

权利要求书

1.一种光扫描装置，

具备：

反射镜(11)，使光束在反射面(11a)中反射；

各支承梁(12)，在上述反射面的平面中的一方向的两侧分别延伸设置，将上述反射镜两端支承；

共振驱动部(13)，通过使上述支承梁分别共振振动，使上述反射镜绕平行于上述一方向的第1轴(A1)摆动；

强制驱动部(15)，通过向压电元件(152)施加电压，使上述反射镜绕朝向与上述一方向不同的方向的第2轴(A2)摆动；

角度测量部(17b、17c)，测量上述反射镜的绕上述第2轴的角度；以及

控制电路(3)，向上述压电元件施加与上述角度测量部的输出对应的电压；

上述控制电路具有：

角速度计算器(34)，基于上述角度测量部测量出的上述反射镜的角度计算上述反射镜的绕上述第2轴的角速度；

目标角速度计算器(35)，计算上述角速度的目标值；

共振频率检测器(33a)，使用上述角速度及上述目标值，检测上述反射镜的绕上述第2轴的振动的频率；

驱动波形生成器(31)，生成锯齿波状的驱动信号；以及

不要振动控制器(32)，基于上述共振频率检测器检测出的上述反射镜的振动的频率，进行上述驱动信号的优化以减轻上述反射镜的绕上述第2轴的不需要振动，向上述压电元件施加与优化的上述驱动信号对应的电压；

上述共振频率检测器使用从上述驱动波形生成器向上述不要振动控制器发送锯齿波状的上述驱动信号的期间中的上述反射镜的角速度的波形以及上述目标值，检测上述反射镜的振动的频率。

2.如权利要求1所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器向上述压电元件施加的电压，是具有相对于时间的变化的大小处于以一定值为中心的规定范围内的直线状的区间的波形。

3.如权利要求2所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器向上述压电元件施加的电压在上述直线状的区间中相对于时间的变化的大小为一定。

4.如权利要求2所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器用使规定的频带的信号减少的滤波器将上述驱动信号优化，基于上述共振频率检测器检测出的上述反射镜的振动的频率，使上述频带的中心频率变化。

5.如权利要求4所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器基于上述角速度计算器计算出的上述角速度的上述直线状的区间中的最大值与最小值的差，使上述滤波器改变对于上述规定的频带的信号减少的大小。

6.如权利要求5所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器基于上述角速度计算器计算出的上述角速度的上述直线状的区间的整体中的最大值与最小值的差，使上述滤波器改变对于上述规定的频带的信号减少的大小。

7.如权利要求2所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器在上述角速度计算器计算出的上述角速度的上述直线状的区间中的最大值与最小值的差是特定值以上的情况下，将上述驱动信号优化。

8.如权利要求7所述的光扫描装置，

上述不要振动控制器在上述角速度计算器计算出的上述角速度的上述直线状的区间的整体中的最大值与最小值的差是特定值以上的情况下，将上述驱动信号优化。

9.如权利要求2所述的光扫描装置，

上述目标角速度计算器基于上述角速度计算器计算出的上述角速度计算上述目标值。

10.如权利要求9所述的光扫描装置，

上述目标角速度计算器计算在上述直线状的区间中上述角速度计算器所计算出的上述角速度的平均值，作为上述目标值。

11.如权利要求10所述的光扫描装置，

上述目标角速度计算器计算在上述直线状的区间的整体中上述角速度计算器所计算出的上述角速度的平均值，作为上述目标值。