[发明专利]光扫描装置

说明书

控制电路(3)具有：角速度计算器(34)，基于角度测量部(17b、17c)测量出的反射镜(11)的角度，计算反射镜的角速度；目标角速度计算器(35)，计算角速度的目标值；共振频率检测器(33a)，使用角速度及目标值检测反射镜的振动的频率；驱动波形生成器(31)，生成锯齿波状的驱动信号；不要振动控制器(32)，基于共振频率检测器检测出的频率进行驱动信号的优化，以减轻反射镜的不需要振动，将与优化后的驱动信号对应的电压向压电元件(152)施加。共振频率检测器使用从驱动波形生成器向不要振动控制器发送锯齿波状的驱动信号的期间中的角速度的波形及目标值检测反射镜的振动的频率。

相关申请的相互参照

本申请基于2015年6月25日提出的日本专利申请第2015－127991号，在此引用其记载内容。

技术领域

本公开涉及双轴型的光扫描装置。

背景技术

以往，提出了将RGB(Red Green Blue)光源产生的激光用MEMS(Micro ElectroMechanical Systems、微电机系统)反射镜二维地扫描、在屏幕上描绘任意的影像的激光扫掠模块等的光扫描装置。

这样的光扫描装置具备反射镜、将反射镜两端支承的支承梁、经由支承梁支承反射镜的共振驱动部、和支承共振驱动部的强制驱动部。光扫描装置通过向共振驱动部和强制驱动部上具备的压电膜施加电压，使反射镜绕相互垂直的2个轴旋转，能够将反射镜的成像位置二维地扫描。

由强制驱动部带来的反射镜的旋转比由共振驱动部带来的旋转晚，被施加在强制驱动部所具备的压电膜上的电压的波形为锯齿波状。通过在该锯齿波的高谐波中包含的共振成分，反射镜共振振动，有发生被称作振铃(ringing)的不需要的振动的情况。

作为振铃的原因的共振成分的频率根据温度、反射镜受到的加速度、反射镜的劣化等而变动。此外，例如在光扫描装置被车载的情况下，该频率较大且急剧地变动。

因此，需要在光扫描装置的驱动中检测振铃的状态、例如振铃的共振频率等，将作为振铃的原因的频率成分从驱动信号中去除。对此，在专利文献1所记载的光偏转器中，通过借助由驱动信号的频率扫掠(sweep)得到的数据的FFT进行的频率成分解析，检测作为振铃的原因的频率，由滤波器将该频率成分从驱动信号中切除。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－205818号公报

发明内容

但是，在利用驱动信号的频率扫掠检测振铃的频率的情况下，由于在检测中驱动信号的波形不是锯齿波而为正弦波，所以不能进行影像的正常的描绘。由此，在振铃的频率的检测中需要将影像的描绘停止。

本公开鉴于上述问题，目的是提供一种在扫描中也能够检测振铃的频率的光扫描装置。