[发明专利]用于迭代缺陷分类的方法及系统

权利要求书

1.一种用于缺陷分类的方法，其包括：

获取样本的一或多个图像，所述一或多个图像包含多个缺陷；

基于所述缺陷的一或多个属性将所述多个缺陷的至少一部分中的每一者分组成两个或两个以上缺陷类型群组中的每一者；

从用户接口装置接收指示来自所述两个或两个以上缺陷类型群组中的每一者的选定数目个缺陷的第一手动分类的信号；

基于所述经接收的第一手动分类及所述缺陷的所述属性产生分类器；

使用所述分类器对所述多个缺陷的至少一些分类；

由投票过程确定使用所述分类器分类的所述多个缺陷的所述至少一些的置信度，其中所述投票过程包含来自于所述分类器的每一分类输出的投票；

识别由所述分类器分类的具有最低置信度的选定数目个缺陷；

从所述用户接口装置接收指示具有所述最低置信度的所述选定数目个所述缺陷的额外手动分类的信号，其中所述分类器包括随机森林分类器，其中所述随机森林分类器的每一树具有分类输出，所述分类输出被配置为在所述投票过程中的投票；以及

确定所述额外手动分类是否识别在所述第一手动分类中未识别的一或多个额外缺陷类型。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

响应于通过所述额外手动分类对未由所述第一手动分类识别的一或多个缺陷类型的所述识别，基于所述第一手动分类及所述额外手动分类产生额外分类器；

使用所述额外分类器对未由所述第一手动分类或所述额外手动分类所分类的一或多个缺陷分类；

识别由所述额外分类器分类的具有所述最低置信度的选定数目个缺陷；

从所述用户接口装置接收指示具有所述最低置信度的所述选定数目个所述缺陷的第二额外手动分类的信号；以及

确定所述第二额外手动分类是否识别在所述第一手动分类或所述额外手动分类中未识别的一或多个额外缺陷类型。

3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

响应于所述额外手动分类不识别未包含于所述第一手动分类中的缺陷类型的所述确定，报告至少由所述第一手动分类所分类的所述缺陷类型及由所述分类器分类的所述缺陷类型。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述基于所述缺陷的一或多个属性将所述多个缺陷的至少一部分中的每一者分组成两个或两个以上缺陷类型群组中的一者包括：

使用应用到所述一或多个属性的实时自动缺陷分类RT-ADC方案将所述多个缺陷的至少一部分中的每一者分组成两个或两个以上缺陷类型群组中的每一者。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述随机森林分类器包括：

单决策树分类器或多决策树分类器中的至少一者。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述投票过程包括多数两个投票方案。