[发明专利]有源矩阵基板有效
申请号: | 201680032280.1 | 申请日: | 2016-06-02 |
公开(公告)号: | CN107636840B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 宫本忠芳;中野文树 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/146 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚;习冬梅 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 | ||
1.一种有源矩阵基板,其特征在于,具备:
基板、
配置于所述基板且于第一方向延伸的多条第一布线、
配置于所述基板且于与所述第一方向不同的第二方向延伸的多条第二布线、
与所述第一布线和所述第二布线的各交点对应地配置且与所述第一布线及所述第二布线连接的晶体管、
绝缘层、及
扩张导电膜;
所述第一布线及所述第二布线的至少一方的布线,通过设置在所述绝缘层的接触孔与所述扩张导电膜连接并成为层压构造;
所述扩张导电膜包含第一布线用扩张导电膜、及第二布线用扩张导电膜;
所述第一布线与所述第一布线用扩张导电膜连接;
所述第二布线与所述第二布线用扩张导电膜连接;
所述第一布线用扩张导电膜,包含与所述第一布线连接的第一布线用第一扩张导电膜、及配置在与所述第一布线用第一扩张导电膜不同层且与所述第一布线用第一扩张导电膜连接的第一布线用第二扩张导电膜;
在从与所述基板垂直的方向观察的情况下,所述第一布线用第一扩张导电膜及所述第一布线用第二扩张导电膜,与所述第一布线平行地沿着 所述第一方向,以与所述第一布线重叠的方式延伸存在;
在从与所述基板垂直的方向观察的情况下,所述第二布线用扩张导电膜,与所述第二布线平行地沿着所述第二方向,以与所述第二布线重叠的方式延伸存在。
2.如权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述第一布线用第一扩张导电膜设置在与所述第二布线用扩张导电膜相同层;
所述第一布线用第二扩张导电膜设置在与所述第二布线相同层。
3.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述第一布线用扩张导电膜配置在相邻的二个所述第二布线之间;
所述第二布线用扩张导电膜配置在相邻的二个所述第一布线之间。
4.如权利要求3所述的有源矩阵基板,其特征在于,
在所述绝缘层,包含覆盖所述晶体管的钝化膜、及以夹着所述钝化膜的方式设置在与所述晶体管相反侧的平坦化膜;
从与所述基板垂直的方向观察,在所述第一布线与所述第二布线交叉的部分,于所述第一布线和所述第二布线之间,配置有所述钝化膜及所述平坦化膜。
5.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述晶体管具有栅极电极、栅极绝缘膜、设置在夹着所述栅极电极与所述栅极绝缘膜而相对向的位置的半导体层、以及与所述半导体层连接且于与所述基板平行的方向彼此相对向设置的漏极电极及源极电极;
所述晶体管的栅极电极设置在所述栅极绝缘膜与所述基板之间。
6.如权利要求1或2所述的有源矩阵基板,其特征在于,
进一歩具备光电转换器件,该光电转换器件以和所述第一布线与所述第二布线的各交点对应的方式配置,且与所述晶体管连接。
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