[发明专利]有源矩阵基板

说明书

本发明使有源矩阵基板的布线的电阻变小。有源矩阵基板，具备：基板31、配置于基板31且于第一方向延伸的多条栅极线Gj、配置于基板31且于与第一方向不同的第二方向延伸的多条源极线Si、与栅极线和源极线Si的各交点对应地配置且与栅极线Gj及源极线Si连接的晶体管2、绝缘层、及扩张导电膜51、52、61。栅极线Gj及源极线Si的至少一方，通过设置在绝缘层的接触孔与扩张导电膜连接并成为层压构造。

技术领域

本发明关于有源矩阵基板(active matrix substrate)。

背景技术

已知有以下的有源矩阵基板，即，在基板上配置有于第一方向延伸的多条扫描线(栅极线)、及于与第一方向不同的第二方向延伸的多条数据线(data line)(源极线)，并且与扫描线及数据线的交点对应地配置有晶体管(transistor)(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-017755号公报

发明内容

发明所要解决的课题

若扫描线或数据线等的布线的电阻大，则在向布线终端的信号传递将产生延迟。因此，优选为布线的电阻率小。

本发明的目的在于提供一种使有源矩阵基板的布线的电阻变小的技术。用于解决课题的方法

本发明的一实施方式中的有源矩阵基板，具备：基板、配置于所述基板且于第一方向延伸的多条第一布线、配置于所述基板且于与所述第一方向不同的第二方向延伸的多条第二布线、与所述第一布线和所述第二布线的各交点对应地配置且与所述第一布线及所述第二布线连接的晶体管、绝缘层、及扩张导电膜；所述第一布线及所述第二布线的至少一方的布线，通过设置在所述绝缘层的接触孔与所述扩张导电膜连接并成为层压构造。

发明的效果

根据本发明，由于第一布线及第二布线的至少一个布线，通过设置在绝缘层的接触孔与所述扩张导电膜连接而成为层压构造，因此能够使布线的电阻变小。

附图说明

图1是表示第一实施方式中的光电传感器基板的结构例的平面图。

图2是表示从与光电传感器基板垂直的方向观察的情形时的传感器部的结构例的图。

图3是图2的Ⅲ-Ⅲ线的剖面图。

图4是图2的Ⅳ-Ⅳ线的剖面图。

图5是图2的Ⅴ-Ⅴ线的剖面图。

图6是图2的Ⅵ-Ⅵ线的剖面图。

图7是表示第一实施方式中的光电传感器基板的制造步骤的例子的图。

图8是表示接续于图7所示的制造步骤的、第一实施方式中的光电传感器基板的制造步骤的例子的图。

图9是在变形例1的结构中，表示从与光电传感器基板垂直的方向观察的情形时的传感器部的结构例的图。

图10是图9的Ⅹ-Ⅹ线的剖面图。

图11是在变形例2的结构中，表示从与光电传感器基板垂直的方向观察的情形时的传感器部的结构例的图。

图12是图11的ⅩⅡ-ⅩⅡ线的剖面图。

图13是在变形例3的结构中，表示TFT的结构的剖面图。

图14是在变形例3的结构中，栅极线与源极线交叉的部分的剖面图。

图15是在变形例4的结构中，表示从与光电传感器基板垂直的方向观察的情形时的传感器部的结构例的图。