[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板；和

被设置在所述压电基板上的IDT电极，

所述IDT电极具有：具有最表层的电极层的至少1个以上的电极层；和对所述最表层的电极层进行保护的保护电极层，

所述保护电极层的电阻率比所述最表层的电极层的电阻率大，

所述最表层的电极层具有：位于与所述压电基板侧相反的一侧的第1主面；和与该第1主面相连的侧面，

所述最表层的电极层中的所述第1主面和从所述第1主面至所述侧面的至少一部分的区域被所述保护电极层覆盖，

所述保护电极层未超越所述最表层的电极层的所述侧面的下端。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述最表层的电极层中，所述第1主面和所述侧面所成的棱线被所述保护电极层覆盖。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述最表层的电极层中的所述侧面被所述保护电极层覆盖。

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述最表层的电极层具有与所述第1主面对置的第2主面，

所述最表层的电极层中的所述第2主面被所述保护电极层覆盖。

5.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述最表层的电极层由Al及Cu之中的至少一方构成。

6.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述保护电极层由Ti及Mo之中的至少一方构成。

7.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极具有：具有所述最表层的电极层的多个电极层；和对所述最表层的电极层进行保护的所述保护电极层。

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

所述多个电极层具有形成于所述最表层的电极层之下的第2层的电极层，

所述第2层的电极层由密度比构成所述最表层的电极层的金属还大的金属构成。

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

所述第2层的电极层由Pt及Au之中的至少一方构成。

10.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

所述侧面具有相面对的一对侧面部分，

各侧面部分被倾斜成：随着从所述第2主面朝向所述第1主面，所述相面对的一对侧面部分间变窄。

11.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极是NiCr层、所述第2层的电极层、Ti层、所述最表层的电极层及所述保护电极层依次被层叠而成的层叠金属膜。