[发明专利]弹性波装置

说明书

提供即便在IDT电极被暴晒于等离子体气氛时特性的劣化也难以产生的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)和被设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：包括最表层的电极层(3A)的至少1个以上的电极层；和保护最表层的电极层(3A)的保护电极层(3B)，保护电极层(3B)的电阻率比最表层的电极层(3A)大，最表层的电极层(3A)具有位于与压电基板(2)侧相反的一侧的第1主面(3a)、及与第1主面(3a)相连的侧面(3c)，最表层的电极层(3A)中的第1主面(3a)和从第1主面(3a)至侧面(3c)的至少一部分的区域被保护电极层(3B)覆盖，保护电极层(3B)未超越最表层的电极层(3A)的侧面(3c)的下端(P)。

技术领域

本发明涉及被用于谐振器或频带滤波器等的弹性波装置。

背景技术

以往，作为谐振器或频带滤波器，弹性波装置被广泛应用。

在下述的专利文献1、2中，公开了在压电基板上设置有IDT电极的弹性波装置。在专利文献1中，作为上述IDT电极，记载着NiCr、Pt、Ti、AlCu及Ti按该顺序被层叠而成的层叠金属膜。另一方面，在专利文献2中，作为上述IDT电极，记载的是在Ti上层叠了Al的层叠金属膜。专利文献2中，上述层叠金属膜由被覆电极膜覆盖。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP专利第5131117号公报

专利文献2：JP特开2001-217672号公报

发明内容

-发明要解决的课题-

构成弹性波装置的IDT电极在形成电介质膜的情况下、或将表面的有机残渣除去的情况下等，经常有时被暴晒于等离子体气氛中。

在此，专利文献1的具有层叠构造的IDT电极若被暴晒于等离子体气氛下，则存在于IDT电极的最表层的Al膜或Cu膜等电极膜有时会受到损伤。结果，电特性有时劣化。

另一方面，在如专利文献2那样层叠金属膜通过被覆金属膜而完全地被覆盖的情况下，电极的特性有时会劣化。

本发明的目的在于，提供一种即便在IDT电极被暴晒于等离子体气氛下的情况下也难以产生特性的劣化的弹性波装置。

-用于解决课题的手段-

本发明涉及的弹性波装置，具备：压电基板；和被设置在所述压电基板上的IDT电极，所述IDT电极具有：具有最表层的电极层的至少1个以上的电极层；和对所述最表层的电极层进行保护的保护电极层，所述保护电极层的电阻率比所述最表层的电极层的电阻率大，所述最表层的电极层具有：位于与所述压电基板侧相反的一侧的第1主面；和与该第1主面相连的侧面，所述最表层的电极层中的所述第1主面和从所述第1主面至所述侧面的至少一部分的区域被所述保护电极层覆盖，所述保护电极层未超越所述最表层的电极层的所述侧面的下端。

本发明涉及的弹性波装置的某特定的方面中，在所述最表层的电极层中，所述第1主面和所述侧面所成的棱线被所述保护电极层覆盖。该情况下，能够有效地保护最表层的电极层，特性的劣化进一步难以产生。

本发明涉及的弹性波装置的其他特定的方面中，所述最表层的电极层中的所述侧面被所述保护电极层覆盖。该情况下，能够进一步可靠地保护最表层的电极层。

本发明涉及的弹性波装置的另外的特定的方面中，所述最表层的电极层具有与所述第1主面对置的第2主面，所述最表层的电极层中的所述第2主面被所述保护电极层覆盖。该情况下，能够进一步可靠地保护最表层的电极层。

本发明涉及的弹性波装置的又一特定的方面中，所述最表层的电极层由Al及Cu之中的至少一方构成。该情况下，能够降低电极的电阻，能够实现低损耗。