[发明专利]晶锭切割装置

权利要求书

1.一种晶锭切片装置，其特征在于，包括：

晶锭供给装置，所述晶锭供给装置被设置成供给晶锭并能在第一方向上移动；

切片装置，所述切片装置被设置成能在与所述第一方向交叉的第二方向上移动，并对所述晶锭进行切片；

浆料供给单元，所述浆料供给单元被设置成将浆料供给到所述切片装置；以及

空气供给单元，所述空气供给单元用于将空气供给到所述切片装置。

2.如权利要求1所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元设置在所述浆料供给单元与所述晶锭之间。

3.如权利要求2所述的晶锭切片装置，其特征在于，设置有至少一个或多个的空气供给单元。

4.如权利要求1所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元包括：

空气流入软管，所述空气流入软管用于提供流路，所述流路用于将空气从外部引导至所述空气供给单元的内部；以及

空气排出端口，所述空气排出端口用于将被引入所述空气供给单元的空气沿预定的方向排出。

5.如权利要求4所述的晶锭切片装置，其特征在于，从所述空气排出端口排出的空气与所述切片装置之间的角度为90°或以下。

6.如权利要求4所述的晶锭切片装置，其特征在于，至少一个或多个空气供给单元被设置成沿着所述空气排出端口延伸。

7.如权利要求1所述的晶锭切片装置，其特征在于，还包括空气供给单元控制单元，以控制所述空气供给单元，其中，所述空气供给单元控制单元被设置成根据所述晶锭供给装置的位置来改变每小时从所述空气供给单元排出的空气供给量。

8.如权利要求7所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元控制单元被设置成，随着所述切片装置与所述晶锭相摩擦处的截面积变窄而增加每小时从所述空气供给单元排出的空气供给量。

9.如权利要求7所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元控制单元被设置成随着所述切片装置与所述晶锭相摩擦处的截面积变宽而减少每小时从所述空气供给单元排出的空气供给量。

10.如权利要求1所述的晶锭切片装置，其特征在于，包括空气供给单元控制单元，所述空气供给单元控制单元用于控制所述空气供给单元，其中，所述空气供给单元控制单元被设置成根据所述晶锭供给装置的位置来改变从所述空气供给单元排出的空气的温度。

11.如权利要求10所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元控制单元被设置成随着所述切片装置与所述晶锭相摩擦处的截面积变窄而增加从所述空气供给单元排出的空气的温度。

12.如权利要求10所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元控制单元被设置成随着所述切片装置与所述晶锭相摩擦处的截面积变宽而降低从所述空气供给单元排出的空气的温度。

13.如权利要求1所述的晶锭切片装置，其特征在于，包括空气供给单元控制单元，所述空气供给单元控制单元用于控制所述空气供给单元，其中，所述空气供给单元控制单元被设置成改变从所述空气供给单元排出的空气的方向。

14.如权利要求13所述的晶锭切片装置，其特征在于，所述空气供给单元被设置成通过所述空气供给单元控制单元而能枢轴转动。

15.一种晶锭切片装置，其特征在于，包括：

晶锭供给装置，所述晶锭供给装置被设置成供给晶锭并能在第一方向上移动；

切片装置，所述切片装置被设置成能在与所述第一方向交叉的第二方向上移动，并对所述晶锭进行切片；

浆料供给单元，所述浆料供给单元被设置成将浆料供给到所述切片装置；以及

空气供给单元，所述空气供给单元用于将空气供给到所述切片装置，其中，所述空气供给单元包括：空气流入软管，所述空气流入软管用于提供流路，所述流路用于将空气从外部引导至所述空气供给单元的内部；以及空气排出端口，所述空气排出端口用于将被引入所述空气供给单元的空气沿预定的方向排出。

16.如权利要求15所述的晶锭切片装置，其特征在于，从所述空气排出端口排出的空气与所述切片装置之间的角度为90°或以下。