[发明专利]柔性电子制造设备

说明书

该申请公开了使用分离设备形成柔性基板的方法。柔性基板包括脱粘区以及位于柔性基板的一个或多个边缘附近的一个或多个边缘区。分离设备将柔性基板的一个或多个边缘区与用于支撑柔性基板装置的刚性载体分离，并且将柔性基板的脱粘区与刚性载体分离，其中脱粘区的底面粘附在刚性载体上。具体而言，分离设备通过在位于柔性基板的剥离区上的多个吸附位置处接触柔性基板的顶面，并且在多个吸附位置施加分离力以将柔性基板从刚性载体剥离。

技术领域

本申请总体上涉及电子装置的柔性基板，并且更具体地涉及柔性基板结构，相关的制造方法和处理设备，其能够在刚性载体的支持下在柔性基板上制造电子装置之后使柔性基板与刚性载体容易分离。

背景技术

纤薄的柔性电子显示屏在可穿戴设备、电子报纸、智能身份证和其他消费电子产品方面具有巨大的应用价值。这种柔性电子显示屏已在有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)显示屏中实现。具体地，在AMOLED显示屏中，通过将有源半导体层薄膜与绝缘介电层和金属电极一起安置而将薄膜晶体管(TFT)装置制作在柔性基板上。柔性基板临时地附着于刚性载体上，刚性载体在配备TFT装置和相应的AMOLED显示屏的过程中为柔性基板提供了充分的机械支撑。在TFT装置和相应的AMOLED显示屏形成于柔性基板上之后，需要将柔性基板从刚性载体上分离而不损坏形成于其上的TFT装置或AMOLED显示屏的显示元件。

通常使用准分子激光来使柔性基板从刚性载体上脱离。当柔性基板直接形成于刚性载体上时，准分子激光用于处理柔性基板和刚性载体之间的界面，而当柔性基板通过牺牲层连接至刚性载体时，准分子激光用于处理牺牲层。但是，使用准分子激光通常会伴随着高昂的工具成本以及低的产品收得率，因而不能提供符合要求的柔性基板生产量。或者，一些现有技术的制造方法设法在柔性基板直接形成于刚性载体上时减小柔性基板和刚性载体之间的附着力(例如在柔性基板和刚性载体之间使用粘合控制层)。由于附着力减小，可使用机械力将柔性基板从其下面的刚性载体剥离，因此这种方法比使用准分子激光显著地降低了工具成本。但是，一直以来，适当地控制柔性基板和刚性载体之间的附着力以利于机械分离，同时仍保持柔性基板至刚性载体的足够牢固的连接以支撑显示屏制造过程一直以来都是一个挑战。

因此，在不会在显示器制造过程中影响柔性基板的产量以及形成于其上的显示装置的质量的前提下，拥有一种能够毫不费力地从刚性载体上分离的柔性基板是有益的。

发明内容

因此，需要一种有助于将柔性基板从刚性载体分离并且保证柔性基板的产量以及在显示器制造过程期间形成于其上的显示装置的质量的设备。具体而言，在本申请的一个方面中，分离设备被设计为具有面板、杆和杆轴，并且可用于促进柔性基板分离。该面板用于真空吸附并且包括位于面板的底面上并且横跨底面分布的多个真空吸附孔。杆机械地联接到面板并且将面板保持在杆的第一端。该杆进一步包括与该第一端相对的第二端，并且该旋转轴机械地联接到该杆的第二端并且在该第二端保持该杆。这样，面板接触柔性基板的顶面，在与多个真空吸附孔相对的多个吸附位置施加力，并且将柔性基板从刚性载体剥离。在一些实施方式中，面板的功能可以由吸盘阵列所代替，每个吸盘包括一个或多个真空吸附孔，并且吸盘阵列中的吸盘可以在将柔性基板从刚性载体剥离的过程中被单独地或成组地控制。

此外，还可以控制柔性基板和刚性载体之间的粘附力，以便易于通过该设备进行机械分离，同时仍然保持柔性基板与刚性载体的充分牢固的连接以支撑显示器制造过程。这样，刚性载体足够坚固地支撑柔性基板，以便于显示装置的制造，并且使用该装置将柔性基板与刚性载体分离，而不会在显示装置形成于柔性基板上形成之后损坏显示装置。