[发明专利]使用时间偏移曝光的非均匀图案校正

权利要求书

1.一种用于校正基板上的非均匀图像图案的方法，其特征是所述方法包括以下步骤：

(a)将所述基板的第一部分暴露于电磁辐射的第一脉冲组合，其中所述第一脉冲组合包括第一脉冲曝光和第二脉冲曝光，其中所述第一脉冲曝光和所述第二脉冲曝光在时间上是由第一时间间隔分离；和

(b)将所述基板的第二部分暴露于电磁辐射的第二脉冲组合，其中所述第二脉冲组合包括第三脉冲曝光和第四脉冲曝光，其中所述第三脉冲曝光和所述第四脉冲曝光在时间上是由所述第一时间间隔的约+30％和约-30％之间分离，且其中电磁辐射的所述第一脉冲组合和电磁辐射的所述第二脉冲组合在时间上可由第二时间间隔分离，所述第二时间间隔是不同于所述第一时间间隔。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述曝光在所述基板上形成图案，以曝光光刻胶。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述第一脉冲组合进一步包括所述第二脉冲曝光之后的第五脉冲曝光，且其中所述第二脉冲曝光和所述第五脉冲曝光在时间上是由第三时间间隔分离。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述第三时间间隔是在所述第一时间间隔的约正或负30％之间。

5.如权利要求3所述的方法，其中所述第三时间间隔是不同于所述第一时间间隔。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一时间间隔和所述第二时间间隔是随机产生的。

7.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

(c)将所述基板的第三部分暴露于电磁辐射的第三脉冲组合，其中所述第三脉冲组合包括第五脉冲曝光和第六脉冲曝光，其中所述第五脉冲曝光和所述第六脉冲曝光在时间上是由所述第一时间间隔的约+30％和约-30％之间分离，且其中电磁辐射的所述第一脉冲组合、电磁辐射的所述第二脉冲组合和电磁辐射的所述第三脉冲组合在时间上是由所述第二时间间隔分离。

8.如权利要求1所述的方法，其中每个曝光产生数据组合，其中每个数据组合是储存在存储器中，且其中每个数据组合被结合以形成所述图像图案。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述曝光是由至少一个图像投影系统所执行。

10.一种用于校正基板上的非均匀图像图案的计算机系统，其特征是所述计算机系统包括：

处理器；和

存储器，所述存储器储存指令，当所述指令由所述处理器执行时，造成所述计算机系统执行以下步骤：

(a)将所述基板的第一部分暴露于电磁辐射的第一脉冲组合，其中所述第一脉冲组合包括第一脉冲曝光和第二脉冲曝光，其中所述第一脉冲曝光和所述第二脉冲曝光在时间上是由第一时间间隔分离；和

(b)将所述基板的第二部分暴露于电磁辐射的第二脉冲组合，其中所述第二脉冲组合包括第三脉冲曝光和第四脉冲曝光，其中所述第三脉冲曝光和所述第四脉冲曝光在时间上是由所述第一时间间隔的约+30％和约-30％之间分离，且其中电磁辐射的所述第一脉冲组合和电磁辐射的所述第二脉冲组合在时间上可由第二时间间隔分离，所述第二时间间隔是不同于所述第一时间间隔。

11.如权利要求10所述的计算机系统，其中所述曝光是由至少一个图像投影系统所执行，且其中所述曝光在所述基板上形成图案，以曝光光刻胶。

12.如权利要求10所述的计算机系统，其中所述第一脉冲组合进一步包括所述第二脉冲曝光之后的第五脉冲曝光，且其中所述第二脉冲曝光和所述第五脉冲曝光在时间上是由第三时间间隔分离。

13.如权利要求10所述的计算机系统，其中所述第一时间间隔和所述第二时间间隔是随机产生的。