[发明专利]烧结炉的冷却室中的光退火有效
申请号: | 201680040342.3 | 申请日: | 2016-05-19 |
公开(公告)号: | CN107851682B | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·M·鲁夫;布兰登·奥克斯·朗;帕拉斯那·翁;埃里克·理查德·安德森 | 申请(专利权)人: | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结炉 冷却 中的 退火 | ||
1.一种用于进行光退火的装置,所述装置包括:
烧结炉,所述烧结炉包括:被配置成烧结光伏器件的金属化层的加热室,和被配置成冷却已经由所述加热室加热的所述光伏器件的冷却室;
其中所述冷却室包括被配置成当所述光伏器件在所述冷却室中被冷却时对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的发光二极管,其中所述发光二极管包括在所述冷却室内的多个区域,每个区域包括所述发光二极管的子集,其中所述区域中的每一个的所述发光二极管输出的光的强度不同于其他区域中的至少一个的所述发光二极管输出的光的强度;并且
其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成使用来自在所述烧结炉的所述加热室中进行的加热的余热作为用于所述光伏器件的光退火的热量;并且
其中光退火不在所述烧结炉的所述加热室中进行。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成对所述光伏器件进行光退火5秒至45秒。
3.根据权利要求1所述的装置,其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成在所述光伏器件中的每个都处于700℃与240℃之间的温度时对所述光伏器件进行光退火。
4.根据权利要求1所述的装置,其中由所述发光二极管输出的光的强度是可调节的。
5.根据权利要求1所述的装置,其中用于光退火的所述发光二极管输出的光的强度在3000瓦/平方米到48000瓦/平方米之间的范围内。
6.根据权利要求1所述的装置,其中所述发光二极管发出可见光谱内的光。
7.根据权利要求1所述的装置,其中所述发光二极管发出具有波长在300纳米到900纳米之间的光。
8.根据权利要求1所述的装置,其中所述发光二极管被安装到水冷板。
9.根据权利要求8所述的装置,其中所述水冷板被配置成使得空气能够绕过或穿过所述水冷板。
10.根据权利要求1所述的装置,其中所述冷却室包括第一冷却部分和第二冷却部分,其中所述第一冷却部分被配置成辐射冷却所述光伏器件,并且所述第二冷却部分被配置成对流冷却所述光伏器件。
11.根据权利要求10所述的装置,其中所述发光二极管位于所述第一冷却部分或所述第二冷却部分的至少一个中。
12.根据权利要求1所述的装置,其中所述加热室包括第一加热部分和第二加热部分,其中所述第一加热部分被配置成烧尽在所述光伏器件的所述金属化层中使用的粘合剂,并且所述第二加热部分被配置成烧结所述光伏器件的所述金属化层。
13.根据权利要求1所述的装置,其中所述烧结炉包括大批量生产环境烧结炉。
14.根据权利要求1所述的装置,进一步包括干燥炉,所述干燥炉被配置成在所述光伏器件的所述金属化层被输送到所述烧结炉之前将其干燥。
15.根据权利要求1所述的装置,其中所述冷却室被配置成在环境空气中对所述光伏器件进行光退火。
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