[发明专利]烧结炉的冷却室中的光退火

说明书

一个实施例涉及一种包括烧结炉的装置，该烧结炉包括配置成烧结光伏器件的金属化层的加热室和配置成冷却已经由加热室加热的光伏器件的冷却室。冷却室包括灯，以当光伏器件在冷却室中被冷却时对光伏器件进行光退火以减小光致衰退。烧结炉的冷却室被配置成使用在烧结炉的加热室中进行的加热的余热作为用于光伏器件的光退火的热量。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

相关申请的交叉引用

本申请要求2015年5月20日提交的美国临时专利申请NO.62/164,235的权益，所述临时专利申请的内容在此以引用的方式并入。

背景技术

太阳能电池通常由掺杂有硼的p型晶体硅(c-Si)制造。这种太阳能电池受使太阳能电池的效率降低的光致衰退(LID)的影响。这通常归因于硅中的硼-氧(B-O)缺陷。

一种扭转这样的LID的方法涉及后处理步骤，在该后处理步骤中，完成的太阳能电池要经受低温热退火步骤，在该低温热退火步骤中，太阳能电池被加热至50℃至230℃之间的温度，同时在硅中产生过剩载流子。用这种方法扭转LID，在太阳能电池被加热的同时，通过向太阳能电池施加外部电压或者通过对太阳能电池进行照明而在硅中产生过剩载流子。该LID扭转方法在专利申请WO2007/107351中进行了描述。

然而，该用于扭转LID的方法是一种后处理步骤，其在太阳能电池原本制造完成之后执行。使用这样的后处理步骤给太阳能电池的制造添加了额外的装置和处理。而且，该LID扭转方法在低温下进行，以避免将因高温加热而损坏太阳能电池。

已经有意见认为，可以在通过加氢对硅中的缺陷进行钝化的步骤期间在太阳能电池制造中间使用类似的方法。在专利申请WO2013/173867中描述了在加氢钝化期间使用这种方法。用该方法，在加氢钝化期间，在晶片加热期间和随后的晶片冷却期间，硅晶片都被照明。在加热期间和随后的冷却期间的这种照明可在任何随后的热处理期间进行，这可能会使得加氢钝化的质量降低。

但是，用于保护加氢钝化的质量的该方法通常还涉及在硅被加热的同时对硅进行照明。这种方法可能不适合在高性能，高效率的太阳能电池制造线中使用，所述制造线在金属化烧结期间需要精确且稳定的热分布。而且，这种方法通常涉及在冷却期间在氢源存在的情况下对硅进行照明，这使得在冷却室中包含氢源成为必需。

发明内容

一个实施例涉及一种包括烧结炉的装置，所述烧结炉包括配置为烧结光伏器件的金属化层的加热室和配置成冷却已经由加热室加热的光伏器件的冷却室。冷却室包括灯，以当光伏器件在冷却室中被冷却时对光伏器件进行光退火以减小光致衰退。烧结炉的冷却室被配置成使用来自烧结炉的加热室中进行的加热的余热作为用于光伏器件的光退火的热量。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

另一实施例涉及一种共烧结的方法。该方法包括在烧结炉的加热室中加热光伏器件以共烧结光伏器件的金属化层。该方法进一步包括在烧结炉的冷却室中冷却已经由加热室加热的光伏器件，同时使用来自加热室中加热光伏器件的余热来对光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

附图说明

图1是具有加热室和冷却室的烧结炉的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室中，而不是集成到加热室中。

图2是共烧结太阳能电池或其他光伏器件的金属化层的方法的一个示例性实施例的流程图。

图3是在其中干燥炉与具有加热室和冷却室的烧结炉结合的组合装置的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室中，而不是集成到加热室中。

具体实施方式

图1是具有加热室102和冷却室104的烧结炉100的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室104中，而不是集成到加热室102中。