[发明专利]压印用的模板制造装置以及模板制造方法

权利要求书

1.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：

工作台，对模板进行支承，该模板具有基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，在该凸部中的端面形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；

供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；

移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及

控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料，

上述液状的疏液材料包含：

与上述模板的表面反应的疏液成分；

与上述模板的表面反应的非疏液成分；

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；

以及将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂为氟系溶剂，

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

2.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述控制部对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液状的疏液材料，并在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料。

3.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

4.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

还具备对在上述凸部的侧面涂敷有上述液状的疏液材料的上述模板进行输送的输送部，

上述控制部在上述挥发性溶剂以及上述氟系的挥发性溶剂从在上述凸部的侧面涂敷有上述液状的疏液材料的上述模板挥发而消失的期间，限制上述输送部对上述模板的输送。

5.一种压印用的模板制造方法，其特征在于，包含如下工序：

对模板进行支承，该模板具有基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，在该凸部中的端面形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；

避开被支承的上述模板的上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂敷将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料，

上述液状的疏液材料包含：

与上述模板的表面反应的疏液成分；

与上述模板的表面反应的非疏液成分；

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；以及

将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂为氟系溶剂，

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

6.根据权利要求5所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

在涂敷上述液状的疏液材料的工序中，向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液状的疏液材料，在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料。

7.根据权利要求5所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

8.根据权利要求5所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，还具有如下工序：

在上述挥发性溶剂以及上述氟系的挥发性溶剂从在上述凸部的侧面涂敷有上述液状的疏液材料的上述模板挥发而消失的期间，放置工作台上的上述模板；以及

在上述放置的工序之后，输送上述模板。